膜厚測定

膜厚測定に関するアプリケーション情報を詳しく解説します

アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。 顧客は、シリコンウェーハの厚さを測定し、マスク用のフォトレジスト層を判断し、 コーティングの硬度および摩耗を試験するためのシステムを構成しています。 数量の多いOEMアプリケーション向けコンポーネントも利用できます。 これらのデバイスは、真空紫外...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社