フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

JUKI新製品公開！6/12~14実装プロセステクノロジー展出展

PRJUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産…

JUKIは6/12(水)～6/14(金)に東京ビッグサイトにて開催される 「第25回 実装プロセステクノロジー展」に出展いたします。 今回の実装プロセステクノロジー展では、 JUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産プロセスの実現でお客様の課題を解決」 をテーマに、プラネットヘッドP20Sを加えた「高速フレキシブルマウンタ LX-8」をはじめ、 世界初公開...

メーカー・取り扱い企業： ＪＵＫＩ株式会社

アプリケーション例『 ウェットプロセス』

ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案

ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。 GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『集積回路製造プラントのウェットプロセス』

腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案

GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。 GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『一般産業のウェットプロセス』

用途に合わせた最適なコンポーネントをご提案

半導体や太陽電池の生産工程以外にも,ウェットプロセスは至るところにあります。それぞれの産業分野の各生産分野の皆様とともに,GEMÜは最適な製品群の構築に長く努めてまいりました。 GEMÜからはPP,PVDFコンポーネントが使われます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『一般産業プロセスの水処理・供給輸送』

水の流量制御・計測用バルブのご提案

GEMÜは,水の流量コントロール・計測に幅広く活躍する汎用バルブを,PVDFおよびPP製でもご提案可能です。 またユニークなプラスチック製のマルチポートブロックバルブは,入り組んだ配管の省スペース化に最適です。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『高純度化学薬品を使用した排水処理』

高い化学耐性を持つバルブをご提案

プロセス排水は多種多様であるため,設備やコンポーネントには高い処理能力が求められます。 新たな生産プロセスが排水の物理的,化学的環境負荷を増大させる一方で,排出量低減,水質基準への要求も厳しくなっています。 GEMÜはプロセス排水の種類や温度,圧力に応じて,主にPP,PVDF,PFA製の,排水処理に最適なコンポーネントをご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『 化学薬品の供給』

化学薬品のハンドリングに最適なバルブをご提案

ハイテク分野の多くでは,プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。 GEMÜ製品は生産設備の中で,洗浄,コーティング,エッチング,充填プロセスの流体制御を担っています。 化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『エッチング,コーティング,洗浄工程』

太陽電池製造プロセス向けの耐薬品バルブ

太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。 GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【スラリー/高純度薬液対応】 超音波流量計

計測管内の障害物が少なく、スラリーのような粘性流体にも高精度で対応可能…

0回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差は±0.5％ •デジタル入力,出力をそれぞれ個別に設定 •アナログ出力ケーブルを標準装備 •プロセスパラメータは任意にプログラミング可能...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『ハイテク産業における水処理』

様々な純度の水に対応可能なバルブをご提案

ハイテク産業において製品の最終的な品質は,超純水ないし純水と呼ばれる水の清純度によって決まります。 GEMÜのハイピュリティーダイアフラムバルブは超純水の処理,輸送供給とプロセスラインでの使用を前提に開発されました。 またハイテク産業向けに限らず,GEMÜは水処理に関わる設備向けに幅広く製品をラインナップしております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社