フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【資料】緊急時対応計画のための好適な避難用呼吸保護具の選択

緊急時対応用の呼吸保護具の選択と導入にきちんと時間をかける！強固な第三…

多くの産業災害は、SOPやフェイルセーフの信頼性設計で守られているから 大丈夫だという誤った安心感に起因しています。 米国労働安全衛生庁のガイドラインの付属書Cでは、危険なプロセスに携わる 作業員は少なくとも「3つの防護線」で保護されるべきことが規定されています。 効果的な危険管理計画においては、3つの防護線が同時に連動して機能しなければ なりません。 当資料で...

メーカー・取り扱い企業： ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

【資料】水素：安全性に関する課題への対処法

水素に関する主な安全課題とは？採用可能なソリューションには何があるかを…

水素の製造、貯蔵および輸送には、安全性への特別なリスクが伴い、 それらの対応には、プロセスの全段階で専門的な知識が必要となります。 当資料では、水素の安全性に関する課題への対処法について解説。 「軽量なガスのための強固な安全性」や「水素に特化した安全面の課題」、 「ドレー...

メーカー・取り扱い企業： ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

【資料】水素のリスク管理

水素を扱う際には、プラント全体における安全性プロセスを再評価することが…

今日、水素は未来の燃料として脚光を浴びています。しかし、新しい エネルギー源には一連のリスクが伴い、適切なリスク管理が必要です。 当資料では、「新しいエネルギー源がもたらす新たなリスク」をはじめ、 「水素の扱いにおける安全課題」や「ドレーゲルが提供する利点」など掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容（一部）】 ■よりクリーンな世界への願い ■新しいエネルギー源がもたら...

メーカー・取り扱い企業： ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部