フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

薬液供給装置（連続式）　P112

PRプロセス装置に連続で薬液を供給

本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法：W1720*D810*H2010 ○重量：約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

紫外線オゾン洗浄改質装置卓上バッチタイプ

"紫外線"で課題解決。紫外線オゾン洗浄改質装置卓上バッチタイプのご紹介…

理技術は、低圧水銀ランプから放出される185mmや254mmの短波長紫外線を照射することで、素材表面に付着した有機系皮膜の分解・除去や、表面の改質（親水化）により密着力・接着力の向上が可能なドライプロセスです。 また、大気中で容易に処理ができるほか、他の表面処理技術と比較した場合、素材へのダメージが少なく効果を得ることが可能です。 【表面の洗浄度、密着性、親水性を向上】 紫外線洗浄・改質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社たけでん UVシステム G