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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【技術資料進呈!】『赤外線ヒーターの種類による違いと選び方』
PR自社の加熱・乾燥プロセスに合う赤外線ヒーターがわかる!赤外線ヒーターの…
『赤外線加熱技術シリーズ』は、真空紫外から中波長赤外線までの波長領域 を網羅する工業用特殊光源を扱うエクセリタスノーブルライトジャパン (旧ヘレウスノーブルライト)が、様々な加熱の種類について解説している 技術資料シリーズです。今回は、赤外線加熱・乾燥プロセスのための 「知っておきたいシリーズ」第4弾! 工業用に用いられる赤外線ヒーターには多くの種類がありますが、その種類 や違いな...
メーカー・取り扱い企業: エクセリタスノーブルライトジャパン(旧ヘレウスノーブルライトジャパン)株式会社
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再エネ、グリーン水素、CO2がエネルギーや化学品原料になると予測される…
製設備もナフサクラッカーも無くなってしまう。そうすると、石油化学はナフサ由来のエチレンセンターではなくCO2とグリーン水素からの新しい化学センターに替わることになる。新しい触媒や発酵法などを用いたプロセスの開発が必要となる。 一方、環境を汚染している廃プラスチックや廃棄物は貴重な炭素資源である。これらはリサイクルされなければならない。ケミカルリサイクルには触媒は必須である。 今回、第一線...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シーエムシー・リサーチ
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多くのプロセス制御に!21000型グローブ弁と21000A型ア…
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例えば、黄色えんどう豆の澱粉とタンパク質を効率良く分離します。…
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