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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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『21000型グローブ形/21000A型アングル形単座調節弁』
PR多くのプロセス制御に!21000型グローブ弁と21000A型アングル弁…
当製品は、多くのプロセス制御の用途に対応できる様に設計された重荷重型 トップガイドの単座弁です。 【特長】 ・トップガイド式プラグ ・小さな圧力回復と高容量 ・高い締切差圧 ・タイトシャットオフ ・広い適用温度範囲 ・選択された材質 ・シンプルで高性能のトリムパッケージ ・低騒音トリム及びアンチキャビテーショントリム ・ねじ込み式又はクイックチェンジ式のシートリング ・...
メーカー・取り扱い企業: 日本ドレッサー株式会社
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選べる出力タイプ!あらゆるニーズに対応する機能を備えた多機能温湿度変換…
プローブ「HC2シリーズ」との組合わせにより、長期安定性に優れた 高精度測定を実現します。 また、用途に応じて、アナログ出力、デジタル出力に加えて、リレー接点出力のモデルも 選択ができ、プロセスの制御から、先端の研究開発まで、あらゆるニーズに対応する 機能を備えています。 【特長】 ■温度、湿度、露点、及び各種パラメータ(演算) ■優れた長期安定性 ■最大1万データまで記録...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社第一科学
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