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【SCREEN】”塗る”を極めたスリットコータ ※カタログ進呈
PRラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階…
『リサーチコータ』は、液晶や有機ELディスプレー製造工程で 数多くの採用実績を誇る「コーターデベロッパー」の高度な塗布技術を ラボスケールに展開したスリットコータ（ダイコータ）です。 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ(TM)」を搭載。 1～10,000mPa・sの低粘度から高粘度の塗布材料を、ガラス基板、樹脂基板、 フィルム、金属箔など様々な基材に高精度にスリットコートでき...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃
CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…
ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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加熱工程、温度評価など、様々なアプリケーションに対応可能！MAX400…
はんだ付け工程、材料評価、樹脂硬化工程、その他温度プロファイルが必要な工程に、幅広くご使用いただけます。...☆温度プログラム対応！ はんだ付けプロファイルをホットプレート上で実施できます。 ☆加熱工程、温度評価など、さまざまなアプリケーションに応用可能です！ ☆プログラム式温度コントローラ(別売)にて、幅広い設定が可能です。 ・温度設定範囲 ０〜３００℃ ・昇温スピード ９０度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー
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軽量・コンパクトな卓上タイプ
【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホットプレートGAP：0.3mm（プロキシタイプ） 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 ...【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホット...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…
【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...〇装置概寸：(L)4000×(W)3600mm ...
メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社
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小型実験機で高精度を実現 スリット式塗布装置 リサーチコータ
様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…
液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！
大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長...
メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…
モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。 ※8インチまでの対応もご提供可能です。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省ス...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【SCREEN】”塗る”を極めたスリットコータ ※カタログ進呈
ラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階…
『リサーチコータ』は、液晶や有機ELディスプレー製造工程で 数多くの採用実績を誇る「コーターデベロッパー」の高度な塗布技術を ラボスケールに展開したスリットコータ（ダイコータ）です。 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ(TM)」を搭載。 1～10,000mPa・sの低粘度から高粘度の塗布材料を、ガラス基板、樹脂基板、 フィルム、金属箔など様々な基材に高精度にスリットコートでき...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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アメリカと日本をはじめ世界の半導体業界で実績。 卓越した信頼性と純度…
世界的な半導体不足を受け、政府の後押しもあり国内での半導体製造拠点の整備が進められており、ウェハを洗浄する純水や微量不純物測定に使用する高純度酸の保管容器など、不純物の溶出が極めて少ないフッ素樹脂製品の需要が増加しています。 サビレックス社のPFA製品は高純度バージンPFA樹脂から製造されており、化学的に不活性で不純物溶出が無く高純度薬液を厳格かつ安全に保管する各種PFA容器をはじめ、ICP-M...
メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社
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10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズ…
【特徴】 お客様の技術・試作開発に全力でサポート致します。 コーティング・印刷・ラミネートの技術力・提案力・行動力を生かし お客様にとって安心・信頼できる ビジネスパートナーとなることを目指しております。 １．10mm□～G8基板の受託加工が可能です。 ２．お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの特注など柔軟に対応いたします。 ３．テスト装置の販売、レンタルも...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…
枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可） 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300mm ○洗浄液...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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最高温度850℃！プレート部に超耐熱合金を使用することで超高温を実現
超高温ホットプレート「PA8010-NC型」は、プレート部に超耐熱合金を使用することで、850℃の超高温を実現しました。 安全カバー無しタイプのため、コンパクトにご使用頂けます。 PCCシリーズコントローラとワンタッチで接続可能です。 より安全性の高い、安全カバー付きの物もございます。 【特徴】 ○最高温度：850℃ ○プレートサイズ：100×100mm（カスタマイズ可） ○プレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー
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