高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

『粉体搬送ポンプ』

PR手作業による労力・飛散の問題を解消！マイカ、アクリル樹脂などの粉末に対…

当社では、乾燥粉体を迅速かつクリーンに搬送処理できる 『粉体搬送ポンプ』を取り扱っています。 「PPシリーズ」は乾燥重量721kg毎立方メートルまでの粉体に対応し、 カーボンブラック、シリコン、アクリル樹脂などの搬送に使用可能。 手作業に要する労力や粉塵飛散といった問題の解決に役立ちます。 また、「SPシリーズ」は流体接続部がクランプ留めの構造のため 分解しやすく、洗浄メンテナ...

メーカー・取り扱い企業： インガソール・ランド・アイティーエス株式会社

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 　 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテ…

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ　新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・…

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 　 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 　 長く安心して使用できる ○精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●そ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した油回転真空ポンプ

【高品質な製品で魅力的な価格】ポンプの運転を安定化させる循環システム搭…

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプセット PRM/PRL/PRDシリーズ

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します…

【製品の特長】 ○ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。 ○標準組合せで簡単にお使い頂けます。 ○ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ●その他機能や特長については、カタログを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

直結型油回転真空ポンプ(一段式)『VSVシリーズ』

全機種二段式ガスバラストが標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油…

『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)

腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラ…

小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ターボ分子ポンプ排気システム　STシリーズ

キャスター付きのターボ分子ポンプ排気ユニット

ターボ分子ポンプ排気ユニットです。 ポンプの組み合わせ、オプション機器の追加などご要望に合わせてカスタマイズ品を製作可能！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ…

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着する…

【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ターボ分子ポンプ排気システム ST-Compact

卓上型ターボ分子ポンプ排気システム

コンパクト設計で、持ち運び自在のターボ分子ポンプ排気ユニットです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　蒸気エジェクタ

エジェクタは、気体（水蒸気等）や、液体（水等）を駆動源とする真空ポンプ…

【製品の特長】 ○運動部分がなく、潤滑油を使用しないのでダストを含む高温ガスを取り扱うのに最適 ○耐蝕性材料を自由に選択でき、大排気量のものも簡単に製作できる ○他の同容量の機械的真空ポンプに比べて製作費が安価 ○サーフェスコンデンサを使用することによって、プロセスガスによる冷却水の汚染がありません ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　マルチジェトコンデンサ(MJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ　TG2400F

大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】瞬間接着剤原料の減圧蒸留用排気システム

瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…

引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着してポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで構成されています。 主排気系の「PRD25-60」はルーツ真空ポン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。...【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！...【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空システム

真空システム

事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな真空システムを提供していきます。 【各種真空システム】 ○ターボ分子ポンプを使った真空システム ○ドライ真空ポンプを使った真空システム ○油回転真空ポンプを使った真空システム ○液封式真空ポンプを使った真空システム ○ルーツ真空ポンプを使った真空システム ○エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACU…

求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　熱圧縮機

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 　 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

直結型油回転真空ポンプ(二段式)『VRDシリーズ』

ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の油回転真空ポンプ。

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1810/1813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG203

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG3413

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG553

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1303

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所