専用水道向け　流水型紫外線殺菌装置　シストライザーSDWシリーズ

PR浄水場や水道施設で安全な水を創る、厚生労働省令に準拠した流水型紫外線装…

【飲料・食品業界トップクラス!　豊富な実績と経験　千代田工販】 【流水型紫外線殺菌装置の分野で長年培ってきた信頼と実績に最新技術を結集し、専用水道における安全性、信頼性を実現します。】 ＜特長＞ ・安心、安全、処理水に変化を与えない　UV殺菌 ・水温に左右されない紫外線ランプを採用 ・ガラス飛散防止、破損、汚れに強いフッ素樹脂コーティング石英保護管を採用 ・水道水のクリプトスポリジウム対策に ...

メーカー・取り扱い企業： 千代田工販株式会社 紫外線殺菌装置のリーディングカンパニー / 産業機械設備・部品・資材の専門商社

【治具導入事例集資料】組立作業バラつきと品質安定化の改善

PR「ポカヨケ」や組立作業の簡素化、加工後の変化の確認など様々な用途の治具…

当社の様々な「治具」を導入した事例集をご紹介します。 【導入内容】 ・作業の簡素化 ・製品を固定し、作業の安定性の向上 ・製品の加工後に起こる寸法や形状の変化の確認 ・組付け対象部品側でピッキングランプの点灯 ・ピッキングのレバースイッチによる数量カウント 【作業の注意点】 ■工程設計の見直しが発生する場合があります。 ■サイクルタイムによって必要台数の検討 ■作業スケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーズ 本社

近赤外線塗装乾燥炉「ハロゲンランプオーダーシステム」

近赤外線ハロゲンランプを使用し高効率な乾燥機を設計！内側から乾燥や効果…

近赤外線ハロゲンランプは、 対象物を内側から乾燥や硬化を促進させるので未乾燥・未硬化などの不具合発生を低減します。 また電源ＯＮで瞬時に要求温度に達しますので無駄なく短時間で処理を終えることが可能となります。 よ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーコー 埼玉事業所 ＩＰＳ営業課

超高出力　UV-LED照射器　ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体…

従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

ハンディタイプＵＶ（紫外線）硬化装置

高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。 樹脂にあわせた３種類の…

ＵＶ硬化は、ランプより放出される紫外線（２５０ｎｍ～４５０ｎｍ）の照射を行う事により、ＵＶ硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合反応をおこし硬化する技術です。 　これらのＵＶ硬化技術は、従来の熱乾燥...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

ＵＶ洗浄、紫外線洗浄、ＵＶオゾン洗浄、紫外線オゾン洗浄とも呼ばれる、製品の高精細化に適合した、ＵＶエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。 低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポテンシャルが高く、高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持っています。同時に基盤表面上で紫外線ランプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

卓上型UV照射装置（上下両面照射タイプ）※デモ機貸出可

上・下両面のUV照射が可能。 手軽に使える廉価版でも、費用対硬化（効…

・低発熱で人体にも優しい省電力ブラッランプ採用 ・ランプ、N２のOn/Ｏｆｆはタイマーと連動 ・冷却ファン（温度連動可変式）内蔵で過熱の心配なし ・インターロック機構、上蓋ヒンジダンパーで安心運用 ・ランプ交換がとても簡単 ・ラ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…

独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm／12”対応。 サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

ランプ加熱装置（SHM-01型）

φ300mm貼り合わせウェーハを加熱用IRランプにて加熱する装置です

・手動/自動の切り替えおよび任意の温度調整が可能です。 ・加熱温度は最大500℃まで上昇します。...ウェーハサイズはご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

【小型＆軽量】UV-LED照射装置

卓上で使えるコンパクトなLED硬化装置。上面と下面から照射が可能で、手…

しています。 半導体、樹脂材料、フィルム、接着剤などの研究開発等、さまざまな分野でご利用いただいています。また、蛍光灯タイプ（※本製品は、LED照明）もご用意しております！ 【特長】 ■ランプの方向を変えることで上面及び下面からUV照射が可能 ■小型かつ軽量 ■ランプの寿命は20,000時間をクリア ■液晶画面で操作が簡単 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

各種成膜・アニール装置

ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置

大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

HEAT SIGNAL シリーズ

新世代ヒーターの通電状態や故障が一目で分かるシグナルランプと、液温度を…

液加熱ヒーターにシグナル《LIVE信号》をプラスすることで、今まで判らなかったヒーターの動作《通電》表示がLIVEランプで「監視」「確認」できます。 通電状況が一目瞭然で、ヒーターの欠相・断線がすぐに判明します。また、ヒーターを制御している機器の状態も、ON/OFFだけでなく位相制御等の状態が明るさで判断できます...

メーカー・取り扱い企業： 谷口ヒーターズ株式会社 千葉事業所

12インチ(300mm)ウエハ対応　LED　UV照射器

卓上で使えるコンパクトなLED硬化装置。照射が可能で、手ごろな価格も魅…

しています。 半導体、樹脂材料、フィルム、接着剤などの研究開発等、さまざまな分野でご利用いただいています。また、蛍光灯タイプ（※本製品は、LED照明）もご用意しております！ 【特長】 ■ランプの方向を変えることでUV照射が可能 ■小型かつ軽量 ■ランプの寿命は20,000時間をクリア ■液晶画面で操作が簡単 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

石英ガラス管インラインヒーター（ケミカルヒーター）

石英ガラス製のジャケットとハロゲンランプ熱源のインラインヒーター（ケミ…

1.クリーン：接液、外管を石英ガラスで構成 2.安全性：テフロン（耐酸、耐熱）設計 3.有効性：省スペース化、液量の少量化 4.熱源：ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギー 5.筐体：メンテナンスが容易なコンパクトサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方…

多くの昆虫が見ることができる光の領域は紫外線領域に大きく偏っています。 殆どの虫は400nm以下の光しか見えないが、一部の虫は570nmまでの光が見えています。 電費半分の防虫ランプは虫の可視エリアであり580nm以下の波長を全てカットしているため、 殆どの虫対する防虫効果を期待できます。 【特長】 ■従来のタイプと比べ、大幅な省エネ効果 ■長寿命　50,000時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

マスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行います｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

自動両面露光装置

フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

自動両面露光装置は、高精度両面自動整合機を搭載しています。 平行光ランプで高精度画像が得られます。 【特長】 ■タッチパネル PET フィルム用 Roll To Roll 露光装置 ■フィルム搬送を熟知した材料搬送技術 ■露光機専用に開発された画像処理装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

光反応用UV照射装置

紫外線の光反応で環境に貢献。薬品、染料、超純水処理等多くの分野で、クリ…

特長 ・2重管構造の水銀ランプを使用し最大50ｋWの電力量で光化学反応を行います。 ・多種多様なランプ・電源を利用し反応槽仕様、生産量に応じ最適な光化学反応システムをご提案致します。 ・防爆検定の取得実績により、設置環境に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャテック

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

セパレーター・スリッター上刃下刃固定用ニューマチックシャフト

コアをクランプして巻くだけでなく、セパレーターディスクやスリッター用の…

単に位置調整ができ作業効率が大幅にUP！！また固定位置の調整を設備でも簡単に行えるようになる為、自動化も容易になります。 1. セパレーターディスクやスリッターの位置を簡単に調整可能 　クランプ／アンクランプが簡単に切り替えできるため位置調整が簡単。 　段取り替えの手間が大幅に低減されます。 2. 自動化への対応が容易 　シャフトを取り換えずに位置調整が可能なので、NCで楽々自...

メーカー・取り扱い企業： ニューマチック工業株式会社

水漏れをセンサーと検知器で確実に把握『3M漏水検知システム』

データセンター、病院、マンション、半導体等の製造現場などの装置内や配管…

御を行う「検知器」と液体を検知する「センサー」を用途に合わせて組み合わせいただけます。 ※詳細はカタログPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【漏水検知器】 検知時に警報ランプが点灯します。外部警報器へ出力が可能です。基本性能を備えた汎用モデルから、複数個所検知可能なモデルや装置や壁面に組込むタイプ、漏水位置が検知可能なモデルなど様々なラインナップをご用意。 【漏...

メーカー・取り扱い企業： スリーエム ジャパン株式会社

大型タッチパネル用露光装置

独自光学系と照明で高精度にアライメント！！！

＜仕様＞ 適用サイズ ：920＊730～1500＊1850mm 方式 ：マスク縦型 ランプハウス ：16KW, 25KWのランプを採用し、高照度、±3％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

中型タッチパネル/OLED露光装置

独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！

<仕様> 適用サイズ ：370＊470、400＊500、550＊650、620＊750mm 方式 ：マスク水平 ランプハウス ：KW, 8KWのランプを採用し、高照度、±3％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

露光装置　小型露光装置

ＪＥＭの装置は簡単な操作で正確な製版ができます。

露光時温度を一定に保つ様、ランプのブロワー換気を行っていますので露光安定性、再現性にすぐれています。露光面積に余裕があり、専用バキュームポンプを使用しています。振動騒音が少なくネガフィルムの密着は完璧です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子精機株式会社

フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞

大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！

<仕様> 適用サイズ ：150インチ対応Xステップ露光 ：50インチ12面Xステップ ：42インチ8面1括 方式 ：マスク縦型 ランプハウス ：16KW,25KW最大35KWのランプを採用し、高照度、±5％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

セントロサーム（正式名centrotherm international AG）は、1958年に設立された熱処理炉専門の世界的メーカーです。真空リフロー炉はじめ、拡散炉・LPCVD・高速ランプアニール炉など豊富なラインナップを取り揃えており、太陽電池や半導体分野の熱処理工程に貢献しています。 日本国内では、2006年から伯東株式会社が総代理店として同社製品の販売と保守サービスを担って...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

PIND試験装置　微粒子衝撃雑音検出装置

デバイスの異物粒子を検出。一時間当たり2000部品以上の試験が可能。

オシロスコープの輝線上に表れるスパイクとしての視覚的な判別ができます。 スピーカーより音質変化による聴覚的な判別、調整された検出レベルの トリガーでのFAILランプの点灯による判別も可能です。 規格試験MIL－STD－883、MIL－STD－750、MIL－STD－220に適合します。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/2

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハ…

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線も...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/3

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使…

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

純水装置（純水製造装置）パッケージ型イオン交換樹脂ボンベ

純水が必要な場所で簡単に！

【特長】 ・内臓のカートリッジフィルターにより原水中の微粒子が除去されます。 ・不純物イオンはカートリッジカラムで除去されます。 ・イオン交換ボンベの寿命はランプでお知らせします。...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置

シャッタータイプの卓上型洗浄改質装置

【仕様】 ■寸法：650×520×495mm（突起物を除く）　■重量：約60kg ■使用ランプ：EUV200GS-**×1本 ■照射エリア：約160×180mm ■照射距離：40(Min)～59(Max)mm ■入力電源：単相200V　3A　 ■別置きブロワー：NK2NL-2＆ダ...

メーカー・取り扱い企業： セン特殊光源株式会社

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

■適用マスク 　・最大口5インチ『BS425』 　・最大口7インチ『BS620』 　・マスク・ウェハサイズ変更は上下マスクホルダー交換 ■露光性能 　・有効露光範囲φ105mm Hgランプ250W ■UV照度 　・上側約15mW／cm2以上 　・下側15mW／cm2以上（at365nm） 　・照度均一度約±10％ ■露光解像度：ライン＆スペース3μm 　・デバイスの最終...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！

ーン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。 【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる／装置内をクリーン度でクラス分け ■ランニングコストの負担を軽減：高品質LED光源ユニット 　・ランプ交換不要の長寿命LED 　・LED専用設計のフライアイレンズ 　・水銀灯比1/8の低消費電力 　・高速電子シャッター搭載 　・熱線を含まないLED光源（365nm） ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社べアック

空圧制御式　薬液供給装置『AID-S100』※特許出願中

電源を使わず薬液圧送！小型で運搬・設置もラクラク。高純度試薬・EL級薬…

【主な仕様】 外形寸法：高さ1220mm×幅550mm×奥行960mm 接液部・継手の材質：SUS/PFA/PTFE 【安全対策機能】 ◎運転状況をランプで確認できます。 ◎動力源がない場合(ガスボンベが空など)にはインターロック機構により装置は作動しません。 ◎加圧時、脱圧時のキャニスタ缶内圧力を圧力ゲージで確認できます。 ※詳しくはカ...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

石英ガラスヒーター

石英ガラスボビン採用、石英ガラス管投げ込みヒーター

ンホールや破損が生じた場合に備え、インナー管の割れ検知器で加熱を停止して、異常警報する事も出来ます。 方式：エアー加圧・圧力降下検出方式の繰り返し（タイマー制御） 警報：内蔵高音量ブザー、赤ランプ、外部信号出力 用力：電力１００Ｗ／１００Ｖ　Ｎ２／ＤＡ　０．１-０．５ＭＰａ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

紫外可視分光光度計　V-1800/UV-1800

最高のコストパーフォーマンスを追及した、飲料工場専用モデルです。

28x64bits). 〇ワンタッチで自動波長設定。その他、条件設定も簡単に行えます。 〇電源入力時の自己診断機能で万が一の異常を見逃しません。 〇停電時自動データバックアップ機能。. 〇ランプ交換が容易で自動校正。 〇フラットな形状で汚れの拭取りが容易。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビクスル

Ø200mm 対応露光装置

Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）

とマスクを高精度にアライメント ・ローダ、アンローダ側にカセットを各２個までセット可能（オプション） ・冷却機構により基板ステージとマスクの温度管理が可能（オプション） ・独自のミラー光学系ランプハウスを搭載。照射面内均一性、高照度を実現 ・非接触プリアライナを搭載。基板を傷つけることなく高精度な送り込みを実現 ・オートマスクチェンジャを搭載。マスクライブラリ対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

ハンディ・キュアラブ（紫外線硬化）

紫外線硬化ユニット

。 ２）UV強度は、100Wでも1kW（80W／cm）なみ。 ３）UV硬化技術の入門装置として最適。 ４）低価格を実現。 ５）グリップを取り外して、ラインに組み込みOK。 ６）ランプは電球の口金仕上げで、交換が簡単です。 http://www.uv-daico.com/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

マニュアルUV照射機

マニュアルUV照射機

化させるマニュアルタイプの照射機です。 上部カバーを開けダイシングフレームをセットし、スイッチ操作によりUV照射を行います。 また、タッチパネルより設定を行った積算照射量（または時間）になるとランプは消灯します。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

枚葉式露光装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

5kWのショートアークUVランプを搭載...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

株式会社ティエスティ　事業紹介

KLA-Tencorや旧Leicaの半導体検査装置のサポートをいたしま…

【サポート内容】 ■定期点検 ■部品販売、消耗品販売(ランプ、レーザー、基板など在庫多数) ■移設作業 ■リファブ作業(装置再生) ■装置立ち上げ作業 ■PSL塗布サービス(Suefcsan) ■トラブル対応(出張対応、引き取り修理対応、電話サポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティエスティ

φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

ワークサイズ ：φ200、300mm 露光方式　　 ：バキュームコンタクト、 ハードコンタクト、プロキシミティに対応 ランプハウス ：3,5KW又は5KW 照度 　　　　　：20mW/cm2（3.5KW） 照度分布　　 ：±5％以内 タクト 　 　　　 ：80-100枚/H ※デモ装置有り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

小型ウエハー自動露光装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

ワークサイズ ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ） 露光方式 ： バキュームコンタクト、ハードコンタクト、 プロキシミティ ランプハウス ：500W 照度　　　　　 ：17mW/cm2（3.5KW） 照度分布　　 ：±3％以内 アライメント精度：±1μｍ以下 タクト　　　　　 ：130-150枚/H ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使…

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応し...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

小型・軽量・小フットプリント装置

ワークを回転させながら照射させるため、 ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置...■主な特長 ・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載 ・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる ・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に 大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社