X-LRMシリーズ精密電動ステージ

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

リングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内（リニアエン...

メーカー・取り扱い企業： テクノロジーリンク株式会社