中空ステッピングモータ／ドライバ

±１パルス（０．０２５μｍ）以内の精度で位置決めが可能。

■中空ステッピングモータ：ＨＳＭＥ（３５モデル／４２モデル） ＜特長＞ ・大口径中空軸＋高分解能中空エンコーダ７２，０００パルス内蔵一体型。 ・専用ドライバＤ３８７０にてクローズドループ制御可能 ・超小型エンコーダをモータ内部に組込むことにより取付寸法変更なし ■ステッピングモータドライバ：Ｄ３８７０ パルス列入力フルクローズ制御対応のマイクロステップ駆動ドライバです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭エンジニアリング 東京本社

1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

【事例】高速同期制御マシン

電子カムのような緻密モーションを多軸で高速に同期

「円テーブル上の連動する多ヘッドの組立機」「シート巻き取り」などでは多軸の同期制御が重要です。 従来は機械カムと機構連結で同期させていましたがサーボと電子カム制御に置き換える事例が増えてます。 電子カム方式には機械カム方式に比べて様々なメリットがあります。 ただ、真のメリットを享受するには、モーションコントローラやサーボの機能・性能によるところが大きいです。 特殊な電子部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノ

スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±20...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社