• リニアエンコーダー(リニアスケール)SI-140 製品画像

    リニアエンコーダー(リニアスケール)SI-140

    リニアエンコーダー 小型、軽量な磁気式インクリメンタルスケールシステム…

    ヘッドとスケールとの距離を大きく取れる非接触型のインクリメンタルス磁気スケールシステムです。 磁気検出のため埃、ゴミ等に影響されずに測長できます。 当社磁気検出式スケールで、一番小さいヘッドです。 検出ヘッドはサイズが小さく、幅30mm×高さ32mm。 専用スケールとの組み合わせで、コンパクトな測長システムを構築できます。 ヘッドとスケールとの検出距離が大きくとれ、また検出距離変動に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

  • リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置 製品画像

    リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置

    【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

    パラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • リニアエンコーダ 製品画像

    リニアエンコーダ

    リニアエンコーダ(セミアブソリュート・ロバスト・高分解能)

    GMRセンサは構造がシンプル・耐熱120℃でロバストな分解能6.25μmのリニアエンコーダです。センサに対するスリーブの直線変位(1ピッチ)以内をアブソリュートで、それを超えた場合はピッチカウントによるインクリメンタルで変位計測するセミアブソリュート型リニアエンコーダです。スリーブ...

    メーカー・取り扱い企業: サンテスト株式会社

  • 接触式リニアエンコーダ ULE-50 製品画像

    接触式リニアエンコーダ ULE-50

    弊社製インジケータと簡単に接続できる接触式リニアエンコーダ

    * 50mmストロークで様々なワークに対応可能 * ロボットケーブルなので可動部取付も安心 * 弊社インジケータ(FS2000)に最適な接触式変位計。  荷重(ロードセル)と変位(ULE-50)の  2入力での品質管理を実現...【特 長】 ■配線が簡単   弊社製インジケータとケーブルだけ直接接続可能。   途中にアンプユニットがないため配線の引き回しが簡単 ■広範囲・高精度計測...

    メーカー・取り扱い企業: ユニパルス株式会社

  • アブソリュート(絶対値)非接触 磁気式 リニアエンコーダー  製品画像

    アブソリュート(絶対値)非接触 磁気式 リニアエンコーダー 

    【サンプル貸出OK!】幅65mmの小型ヘッドを採用した、アブソリュート…

    『SA-200システム』は、コンパクト形状の専用ヘッドを採用した、 アブソリュート リニアエンコーダーシステムです。 幅65×高さ20×奥行25mmの専用スケールとのセット品です。 ヘッドの検出距離は、被取り付け基台の材質が磁性体の場合0.3~1.6mmを実現。 絶対値(アブソ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

  • ボイスコイル駆動 高精度 V-273リニアアクチュエータ 製品画像

    ボイスコイル駆動 高精度 V-273リニアアクチュエータ

    動作範囲20mm、分解能0.01µmの高速・高精度リニアアクチュエータ

    動作範囲:~20 mm 最高速度:100ミリメートル/秒(無負荷時) リニアエンコーダ内蔵:分解能 0.01 μm オプションフォースセンサー:分解能 1mN 用途:精密位置決め、マイクロマニピュレーション、力に敏感なスイッチや表面物性試験など ※詳しくはPDFをダウンロー...

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    メーカー・取り扱い企業: ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

  • 減衰力試験機『ADFT-LM1』 製品画像

    減衰力試験機『ADFT-LM1』

    正確な作動波形で減衰力の試験測定を致します。

     供試体取付範囲 :250mm~1050mm  門柱本数 :2本  クロスビームの昇降方式:電動モータ方式  クロスビーム固定方式:ロック装置方式(油空圧力)  直線変位検出器 :リニアエンコーダ          直線速度検出器 :リニアエンコーダ  ロードワッシャー :20kN(1,960kgf)(詳細別途) ■制御装置仕様  制御盤構造 :自立型(加振装置と同一ベース...

    メーカー・取り扱い企業: 共栄テクニカ株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111

    100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サンテスト 用途別ダイジェストカタログ 製品画像

    サンテスト 用途別ダイジェストカタログ

    センサー、計測器など各種用途別に28点掲載!欲しいものが見つかるダイジ…

    クス関連商材をご紹介しています。 【掲載商品】 磁歪式変位センサ、インダクト・シヌソイダル・エンコーダ、インダクタンス式ロバスト変位センサ高耐熱型、高精度高信頼性磁気スケール、耐環境型リニアエンコーダ、ワイヤ式リニアエンコーダ、差動トランス、直線変位精密ポテンショメータ、無接点式ロッド型スイッチセンサ、磁歪式高精度レベル計、回転型ポジションコーダ、磁気式ロータリエンコーダ、傾斜角センサ、衝...

    メーカー・取り扱い企業: サンテスト株式会社

  • 磁歪式変位センサ、レベル計などセンサ・メカトロ機器総合カタログ 製品画像

    磁歪式変位センサ、レベル計などセンサ・メカトロ機器総合カタログ

    直線変位や液面レベル、傾斜角など測定用途・目的別に探せるカタログプレゼ…

    サンテストの総合カタログ<ダイジェスト版>では、センサーを中心とするメカトロニクス機器を用途別にご紹介します。 磁歪式の変位センサー、レベル計をはじめ、差動トランスやリニアエンコーダ、ロータリーエンコーダなど、優れた製品の数々を特長と共にご覧ください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: サンテスト株式会社

  • 直動案内機器 ナノリニア(R) NT 製品画像

    直動案内機器 ナノリニア(R) NT

    さらなる高精度を追求したNT88Hとコンパクトなピック&プレイスユニッ…

    ナノリニア(R)NTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるIK...

    メーカー・取り扱い企業: 伸栄伝導機工株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

    光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

    【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • コンパクトデジタル球面計 スフェロメーター 製品画像

    コンパクトデジタル球面計 スフェロメーター

    高精度接触式にて曲率半径とサグ量を測定します。凹凸面どちらも可能です。

    【主な特徴】 ○接触リングには、真球度0.1μm以下ルビー球を使用 ○高精度リニアエンコーダを搭載することでサグ量の検出精度1μm以下で測定可能 ○凹凸面どちらも可能 ○ルビー球はNIST(National Institute of Technology USA)で校正、トレーサ...

    メーカー・取り扱い企業: トライオプティクス・ジャパン株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~40…

    ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm(0.1μm)か50nm(0.05μm)分解能で動作します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作

    【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

    真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • イーサネット経由で計測制御できるEthernet Nシリーズ 製品画像

    イーサネット経由で計測制御できるEthernet Nシリーズ

    イーサネット経由で離れた場所から検査・計測・制御を実現できるデジタル入…

     本製品は、同様にバッファを備え、サンプリングによる入出力に対応しています(アナログ入出力ユニット)。イーサネット経由で離れた場所にある計測制御を、当社USB Nシリーズ、PCI Expressボードと同様の感覚で実現いただけます。  Ethernet NシリーズはDIO-1616LN-ETHが発売済みで、今回発売した新製品を加えてラインアップは合計7モデルとなります。...【主な特長】 ●フ...

    • CNT-3204IN-ETH(カウンタ入力ユニット).jpg
    • AI-1608VIN-ETH(アナログ入力ユニット).jpg
    • AI-1608AIN-ETH(アナログ入力ユニット).jpg
    • AO-1604VIN-ETH(アナログ出力ユニット).jpg
    • AO-1604AIN-ETH(アナログ出力ユニット).jpg

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社コンテック

  • 三成分コーン貫入試験データ収録装置『FP-303T』 製品画像

    三成分コーン貫入試験データ収録装置『FP-303T』

    三成分コーンとデータ収録装置から構成されたシステム

    体(携帯型トランク)  ・CPU  ・12.1タッチパネルモニタ  ・IO機器  ・ストレーンアンプ ■三成分コーン検出器  6m×5本接続ケーブル付き(携帯型トランク収納) ■リニアエンコーダ  接続コード5m付き ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・アンド・ディー

  • スリム型100nm分解能ステージ(50mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(50mm)

    エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...型式:FS-1050X(S) ストローク:50 mm 専用コントローラ使用時 分解能:100 nm...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-511 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

    10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • ISO厚さ計 「49-56シリーズ」 製品画像

    ISO厚さ計 「49-56シリーズ」

    極小圧力測定を可能にする片持ち梁の方式を採用しています。

    最新モデル49-56は高精度デジタルマイクロメーターです。 外観デザインの刷新、デジタルリニアエンコーダの採用等内部のシステムも改良されています。 各試験条件、テストスピード、ゼロ調整、自動サンプル検知、開口幅、測定レンジ、ドウェル時間、自動サンプルフィードオプション、統計データの出力はソフト...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • ISO厚さ計 「49-86シリーズ」 製品画像

    ISO厚さ計 「49-86シリーズ」

    コンパクトで高精度、高機能を実現したモデル

    は読み取り安いディスプレイが採用され、自動で表示されます。 加圧はモーター制御で高精度、高い再現性を実現しています。 筐体は鋳物で製作されており頑丈な作りになっています。 内部は、反射式リニアエンコーダが使われています。 アンビルとプレッシャーフットはステンレス製です。 シートサンプルの厚み測定器として設計され、紙、プラスチック、フィルム、不織布、ティッシュペーパー等、多くのシートサンプ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • 1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

    1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

    1nm分解能で位置決めステージを制御!

    1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 非接触式3次元形状測定器 製品画像

    非接触式3次元形状測定器

    必要以上に高精度を求めずロープライスで対環境に特化!

    『非接触式3次元形状測定器』は、3次元データの自動スキャニング装置です。 振動や温度変化の激しい一般工場の環境下での使用を目的とし、プレス機等 のある振動環境下でも使えるように4本柱式高剛性フレームを採用。 また、空調設備のない環境を想定し、金属フレームや金属スケールを使用し 熱膨張による影響を抑えました。 【特長】 ■過酷な環境下での計測に対応 ■ワーク特性を考慮した...

    メーカー・取り扱い企業: FNS株式会社

  • AOI(自動光学検査装置)『TR7700QM SII』 製品画像

    AOI(自動光学検査装置)『TR7700QM SII』

    TR7700QM SIIは、半導体およびパッケージング業界向けの2.5…

    モーションコントローラー付きACサーボ Y軸制御 ボールねじ+モーションコントローラー付きACサーボ Z軸制御 ボールねじ+モーションコントローラー付きACサーボ XY軸の解像度 オプションのリニアエンコーダで1μm ボードの取り扱い 最大PCBサイズ 400 x 330 mm PCBの厚さ 0.6〜5mm PCBの最大重量 3 kg トップクリアランス 25 mm ボトムクリアランス 40mm...

    メーカー・取り扱い企業: ティアールアイ ジャパン株式会社 日本支社

  • カムシャフト形状測定装置 SE-121型 製品画像

    カムシャフト形状測定装置 SE-121型

    ワーク(カムシャフト)を両センターで支持し、ワークを回転させ、回転角度…

    最大カム数24カムまでの自動測定が出来ます。測定データは32ビットCPUで処理し、プロフィール線図、速度線図、加速度線図を印字出力します。また、設計基準値に対する測定データの誤差を求め、誤差線図として出力することも出来ます。最大24カムまで自動測定しますので、各カムのトップ点の角度及びトップリフト量、各カム間の位相差も求める事が出来ます。また、ジャーナルを基準とした偏心補正等、データの前処理補正機...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大菱計器製作所

  • 精密多軸寸法測定機 SE-119型 製品画像

    精密多軸寸法測定機 SE-119型

    シャフトに加工された溝の長さ、幅、及び位相測定に威力を発揮します。

    本機はX、Y、Z軸及び回転軸の座標がダイレクトにデジタル表示でき、手元スイッチにて、各軸独立に基準位置セット(ゼロセット)が容易に出来ますので、複雑な形状をしたシャフトの種々の寸法を精密に測定することが出来ます。各軸の移動は操作盤のハンドルとサーボモータで行なっておりますので、粗動、微動送りが可能です。...【仕様】 <測定方法及び分解能> ○X、Y、Z軸:光学式リニアスケール(分解能:0.2...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大菱計器製作所

  • 【用途例】追従側の回転制御 製品画像

    【用途例】追従側の回転制御

    パルス比率計で追従側の回転制御を行う事例です。

    A側・B側2台のセンサ(エンコーダ1200P/r)により常にたるみ量を同じにさせるように誤差比率データのリニア出力を利用し、巻き取り側(追従側)の駆動系へフィードバック信号を出力する。 誤差比率が-5.00%で0V、+5.00%で10V出力さす。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: ヘニックス株式会社

  • 1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストローク...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

    【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れてお...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージシステム

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用し...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作

    【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

    【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めが...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れていま...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作

    真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

    位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

    【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

    【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414

    50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作

    【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

    100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スリム型100nm分解能ステージ(40mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(40mm)

    エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式:FS-1040X(S) 分解能:100 nmまたは50 nm(内蔵スケール読み値) 再現性:±20...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

    10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応していま...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

    50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 製品画像

    5nmフィードバックステージコントローラ FC-611

    検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。

    5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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