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27件 - メーカー・取り扱い企業
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【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…
パラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～40…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nm...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nm分解能で位置決めステージを制御！
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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TR7700QM SIIは、半導体およびパッケージング業界向けの2.5…
モーションコントローラー付きACサーボ Y軸制御 ボールねじ+モーションコントローラー付きACサーボ Z軸制御 ボールねじ+モーションコントローラー付きACサーボ XY軸の解像度 オプションのリニアエンコーダで1μm ボードの取り扱い 最大PCBサイズ 400 x 330 mm PCBの厚さ 0.6〜5mm PCBの最大重量 3 kg トップクリアランス 25 mm ボトムクリアランス 40mm...
メーカー・取り扱い企業： ティアールアイ ジャパン株式会社 日本支社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストローク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れてお...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用し...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めが...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±20...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応していま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのス…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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