リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション

PR掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機の動き、…

土壌シミュレーションツール『AGX Dynamics』は、建機作業、土木施工の様々な作業を バーチャル空間で再現することを可能にする技術です。 建機作業や、掘削・放土といった土砂の挙動を高い精度で再現することが可能となっており、 作業の流れ、建機の動き、土壌の変化などを事前にシミュレーションすることができます。 作業者の人数や規模感が大きな土木作業領域において、 必要な建機数や作...

メーカー・取り扱い企業： VMC Motion Technologies株式会社

DX製品『SmartWORKnavi（作業指示/実績記録）』

PR組立指示・生産指示・検査・点検・メンテナンスなどの業務フローを自由に作…

『SmartWORKnavi』は、作業指示と実績記録が行える業務アプリケーションです。 ◆お客様自身で自由に業務フロー（作業指示/実績記録）が作成可能。 　作業指示は、文章、PDF、音声、動画など自由に選択し登録。 　パソコン専用アプリを使って容易に作成でき、電子化（ペーパーレス化）の実現につながります。 　実績記録は、結果選択、画像・動画の撮影、音声入力、バーコードスキャンなどで登録され、報告...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テッチシステム 営業本部

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

RTP装置『AS-Premium』

最大156mm×156mm基板対応！真空又は大気搬送装置及びロードロッ…

【その他の特長】 ■マスフローコントローラー：最大 8 ■真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能 ■最大温度 ・1100℃(基板上部ランプ加熱式、4 ゾーン) ・1300℃(基板上部ランプ加熱式、8 ゾーン) ・1300℃(基板上下部ランプ加熱方式、6 ゾーン) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

RTP装置『AS-Master 200』

ターボポンプ搭載可能！低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメー…

『AS-Master 200』は、アニール処理後急速冷却機構のRTP装置です。 最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式)しており、 真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能。 また、大気・真空下プロセスに対応しており、ターボポンプ搭載可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応(基板上部ラン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

特長】 ■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフリー構造 ■ウェーハ近傍の温度モニターが可能 ■N2ロードロックを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部