長尺マシニングセンタ 【2～6ｍの長尺加工に適した4タイプ】

PR通常のマシニングセンタよりも段取りが格段にし易い！長尺材加工に適したマ…

長尺マシニングセンタとは、長尺材(2m〜6m)に特化し、切削加工(フライス削り、穴あけ、ねじ立て)するマシニングセンタです。4タイプありますので用途に合わせてお選びいただけます。 ■ILMシリーズ（主軸：BT40） ツールマガジンをコラムに内蔵、工具交換は左右任意の位置で可能な特にアルミ長尺材加工に適した高剛性マシンです。 ■ILSシリーズ（主軸：BT50） ツールマガジンをコラム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワシタ

特許技術でコスト減！高濾過精度で品質維持！クーラント精密濾過装置

PR濾過精度1μmを実現。自重に逆らいながらクーラント液を送り、フィルター…

当社は、クーラントの『精密濾過装置』の提案・製造を手掛けています。 1μmの濾過精度で、大流量に対応したフィルター濾材をご用意しており、 装置は外側から内側へ濾過を行う濾過フローで、 自重に逆らいながら下から上にクーラント液を送り込み、 フィルター全面による高効率濾過を実現しています。 また、逆洗浄には特許を取得しており、 自重に従った送液によって効果的な逆洗浄を行い ランニングコストの大幅削...

メーカー・取り扱い企業： 濾過精工株式会社

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしてい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能とした…

材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交換できるバルブを使用しているが、作業者ごと作業時間や作業工程が違ってしまっている、、、、 といったお悩みはありません...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定したプロセス性能を得ることが可能となりました。 トレー交換を容易に行える自動交換機能など、メンテナンス性も良好です。 AMAX800Vは、8インチまでのウェハに対応し、最大で1時間あたり100枚の成膜が可能です。 また、AMAX800Vのメンテナンス性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定したプロセス性能を得ることが可能となりました。 トレー交換を容易に行える自動交換機能など、メンテナンス性も良好です。 AMAX1200は、12インチまでのウェハに対応し、最大で1時間あたり56枚の成膜が可能です。 ●装置サイズ:2165mm(W) x ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

【　納　期　短　縮　】 標準交換部品等を事前購入保管（購入に伴うタイムロスの軽減実施） 　　標準交換部品例 ・各種Oリング ・ソレノイドバルブ ・ベアリング・ワッシャー ・ステッピングモーター ・モーター（ACT）ケー...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

D装置です。 液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、 内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を 設計開発。 上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の 優れた装置です。 【特長】 ■シリンダーキャビネット付き ■液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構搭載 ■独自のプラズマ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

ロ波導波管を 上下できる機構を備えています。 【特長】 ■実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換 ■漏洩マイクロ波検出用も付属 ■内部機構は全てコンパクトに設計されており省スペース化を実現 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

KPa以内に制御。 　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】 　剤破過検知器（ブレイクモニター）のサンプリング位置を 　自動切換することにより、剤交換時期を正確に管理することができます。 【安全性】 ・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用。 ・固定生成物が排気ガス中に混在している場合も、バグフィルターで除去が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

レス成形、純正品の螺旋熔接よりもっと構造強度が丈夫、耐圧力、耐高温性がアップ、更に外観もきれいになっています。 特徴： １、 24折の折畳設計を採用、ろ過面積は１５％増加、耐汚染能力は強く、交換期は長くなります。 ２、 専用アメリカ産ガラス繊維制濾過材使用、ろ過均一、換気性がよく、差圧が安定、ＭＯＣＶＤ装置にも優しい。 ３、 機械構造強度が強く、耐高温性、耐腐食性が優れる、ＭＯＣＶＤ装...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

4、有効ろ過面積：粗いろ過3.456m2，微細ろ過3.456m2，1セット全体ろ過面積6.912 m2 5、適用温度：＜400℃。 6、包装：1本粗いろ過+1本微細ろ過 交換周期：40days ...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長】 ■高い生産性：毎時120枚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

【特徴】 ○圧力感知部にSUS316Lを採用しました。 ○耐蝕性に優れ液体などにも幅広く使用可能です。 ○コネクタ接続方式の採用により取付時間の短縮化しました。 ○圧力センサーの交換も容易です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Agnitron社 中古再生MOCVD装置

完全に再生(リファブ)され、アップグレードされたレガシーMOCVD装置…

、アップグレードを実施します。また材料科学、プロセスエンジニアリングに精通しており、装置のエンジニアリングだけに留まらず、装置の過去使用履歴が将来の性能にどのように影響を与えるか、部品の再利用可否、交換する適切な時期を把握していますので安心して装置を購入、使用して頂けます。 (1) 標準及びオプションのアップグレードにより新たな機能追加可能。 (2) 部品、サービス提供体制。 (3) 様...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）と素早く簡単に交換できます。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

PLAD-161 PLDシステム

PLAD-161 PLDシステム

PLAD-161 PLDシステムは基板搬送機構を簡易にすることで廉価ながらもメインチャンバーを大気に開放することなく、基板交換が行えます。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社