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PR約100ページの大ボリューム。化学・製鉄・製紙・食品など多業界で活躍す…
粉粒体の定量供給機をはじめ、排出機、計量機、周辺機器などをまとめた 約100ページの『総合カタログ(供給機選定表付き)』を進呈中です。 脈動のない高精度の連続供給を実現した製品や、 製品の形状変化を防ぎながら定量供給が可能な製品、 貯留サイロ1基から多方向へ供給できる製品など 多彩な製品の特長を詳しくご紹介。 供給・計量・制御が1台で完結するロードセル内蔵型の 連続計量供給機...
メーカー・取り扱い企業: グローバルマテリアルズエンジニアリング株式会社(旧大盛工業株式会社)
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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
) ・洗浄チャンバー数:1 ・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
グ用リングフレーム ・サイズ:標準6インチwafer用(各種サイズに対応) ・処理ステーション数:1チャンバー(増設可) ・スクラブ機能:高圧ジェット ・処理液:有機系剥離液・純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過 ・処理能力:60枚/時 ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:メカニカルチャック ・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法(WxDx...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
, 8インチ(2サイズ兼用可) ・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(W...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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株式会社テクノメイト