分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-105

多層膜など多くのパラメーターが一度に解析！小型・高速分光エリプソメータ

分光エリプソメータMASS-105は白色光を用いたエリプソメータです。レザータイプに比べ、多層膜などの多くのパラメーター（膜厚、屈折率、吸収係数）が一度に解析できます。分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。また、分光解析ソフト“SCOUT”を標準装備し､ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップし、研究用としても対応しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社

回転補償子型 分光エリプソメータ『SE-2000』※セミナー開催

多層膜の膜厚・屈折率を非接触で高精度測定。本体の操作や解析作業が容易　…

『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。 ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。 深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。 材料の組成比、異方性、Mueller Mat...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

分光エリプソメーター GES5E

薄膜光学特性を非破壊で測定！ 手軽に高精度測定できる分光エリプソメト…

日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

分光位相差測定装置　PDMS-SP

各波長の位相差・楕円率・方位角が確認しやすいデータビューワを標準装備！

分光位相差測定装置　PDMS-SPは、ファイブラボのエリプソメータ技術を基に開発された分光位相差測定装置です。サンプルを透過・反射する際に生じる位相差、楕円率、方位角などを測定します。測定方式に回転位相子法を採用している為、波長板の出し入れ無しでΔ値が全領域にわたって高精度に測定ができ、入射アームとは独立させて、ディテクター部のみを動かせるので、光軸が平行移動するようなサンプルも測定可能です。各波...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社

分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-103

サンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能！

分光エリプソメータMASS-103は、古くから多くの実績を誇る MASS-102シリーズの改良シリーズです。分光器を1024分割の2 次元CCDを用いることにより、波長分解能はそのままに測定時間が飛躍的に短くなりました。103シリーズはサンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能となっています｡（従来のゴニオ型“104シリーズ”もあります。）また、分光解析ソフト“SCOUT”をオプションで用意し...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社