• 差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』 製品画像

    差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

    あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計(ガス分析計)、複合プロセス…

    INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計(ガス分析計)で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベ...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 製品画像

    超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

    低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重…

    『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計(質量分析計)です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』 製品画像

    四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

    業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現!

    『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計(質量分析計) (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』 製品画像

    高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

    新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現!

    『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計(質量分析計)です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアッ...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム 製品画像

    超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

    【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

    『WATMASS-MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH シス...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ 製品画像

    多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

    極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…

    多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。 【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析 ■?素・?分の?精度計測 ■?気圧リアルタイム分析(呼気・燃焼ガスなど) ※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減!新しい「真空構造材」 製品画像

    真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減!新しい「真空構造材」

    0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現!ステンレススチールの代替え…

    当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか? 製品画像

    質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか?

    答えはこちら!質量分析のソリューションと事例をご紹介!

    『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 ...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』 製品画像

    極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

    0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現

    当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 【SEMICON Japan 2019 概要】 会期:2019年12月11日(水)~13日(金) 会場:東京ビッグサイト ...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか? 製品画像

    極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか?

    答えはこちら!極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介!

    『WATMASS-MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH シス...

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  • 真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか? 製品画像

    真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか?

    答えはこちら!真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご…

    当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

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