ハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』※技術資料進呈

PRサーボモータで油圧ポンプを回転させ、油圧ポンプ吐出方向を制御。制御弁、…

当社が開発したハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』は、 制御弁がいらず、推力やロッド位置の制御を高精度で行えます。 サーボモータで油圧ポンプを回転させ、サーボモータの正逆回転によって 油圧ポンプの吐出方向を制御。方向制御弁がいらず、回転速度の制御で、 作業油の吐出量もコントロールできるため、油量制御もいりません。 電動アクチュエータの特長と、油圧シリンダの高剛性を兼ね備...

メーカー・取り扱い企業： 第一電気株式会社

エンコーダ付きステッピングモータでサーボモータ並みの精度を実現

PR『Si servo3』は2相ステッピングモータにエンコーダを取り付け …

専用ソフトウェア使用により上位コントローラレスで動作可能。 サーボ制御により位置情報および速度情報を高精度にフィードバックし 脱調レスで高精度な位置決めと滑らかな動作が可能です。 動作時はサーボ制御を行うことで粘り強く動作。 停止時はサーボ制御とステッピング制御の重ね合わせにより狙った位置にハンチングレスで停止。 【特長】 ■モータ停止時の微小ハンチングなし ■最大6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』

メカニカルクランプ又は静電チャック対応！サブナノメーターエッチング機構

『scia Trim 200』は、高精度・高スループットによる 膜厚エッチング制御のイオンビームトリミング装置です。 最大200mmウエハ基板対応しており、歩留改善。 また、プロセスはイオンビームトリミング(IBT)となっております。 ご用命の際は、お気軽にご相談く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

CVD、PECVD横型炉装置『EVADシリーズ』

フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理…

『EVADシリーズ』は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能な、 CVD、PECVD横型炉装置です。 シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布を制御し、 回転機構付き高品質ステンレス製チャンバーにより粉体へも 高温でのCVD/PECVDによる処理が可能。 PLASMICON制御システムにより全自動プロセス、データ保存に対応しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ICP-RIE『SI 500』

高選択性エッチング！ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供…

『SI 500』は、ICPパワーによるイオン密度の制御のICP-RIEです。 独自のPTSA200ICPソースによる10＾12[イオン/cm3]の 高いプラズマ密度により高エッチレートを実現。 また、バイアスパワーによるイオンエネルギーの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ICPECVD『SI 500 D』

ICPパワーによるイオン密度の制御！低温成膜、低ダメージ、高コンフォマ…

『SI 500 D』は、ICPパワーによるイオン密度の制御のICPECVDです。 独自のPTSA200ICPソースによる10＾12[イオン/cm3]の高いプラズマ密度により 低温成膜、低ダメージ、高コンフォマリティーを実現 ご用命の際は、当社...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

今回は当社で実績のある『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ■生成物...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ