冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『クイックカップリング』

クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O…

【その他の特長】 ■フランジの取付け方向は自由(回転フランジと同じ働きをする) ■クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工 ■加熱温度により、"O"リングの選択が可能 　(ネオプレン：70℃、バイトン：150℃) ■リーク量は1.3×10^-9Pam3/sec以下(但し、"O"リングのガス透過は除く) ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】 ■超高真空領域用 ■Capturingシール構造 ■優れた許容加熱性 ■容易なガスケットの交換 ■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く) ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■優れた許容加熱性 ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『超高真空ビューイングポート』

広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…

ァイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や 粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。 【特長】 ■広く鮮明な有効視野 ■超高真空領域まで使用可能 ■優れた加熱許容性 ■広範囲波長を安定透過 ■優れた耐放射特性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

L型バルブ『Vシリーズ』

豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用

接合できます。また、バルブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作業が 短時間で可能です。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■寿命バルブ ■開閉ポジションセンサスイッチ ■優れた許容加熱性 ■豊富な接続フランジ ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型ポリイミドバルブ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えること…

ブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。 【特長】 ■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる ■優れた許容加熱性 ■ガス放出の少ないシール材 ■小さな締付けトルク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社