エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

アルミ・鋼の金属部品加工＜事例集進呈＞

PR高品質・高精度の製品を製作。アルミ部品は平行・平坦度2/100mmに対…

アルミ・鋼の角物の加工を手掛ける当社は、高性能な立型マシニングセンタや 横型マシニングセンタをはじめとする設備を多数導入しており、 高品質・高精度の製品ニーズにお応えしています。 アルミで2/100mm、鋼で1/100mm（研磨込み）の平行・平坦度を誇るなど、 高い技術力を保有。半導体業界水準のキズの無い美しい仕上がりを提供します。 手のひらサイズから約20kgまでの幅広い製品に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジーエスピー

精密研磨装置『MA-150』

小さい試料を研磨する際に好適！1つの目的に対して1台を使用できるように…

機でSEM、EPMA、 TEM等の横に設置し、1つの目的に対して1台を使用できるように 設計開発されております。 小型でスペースを占有しないため、小さい試料を研磨する際に適しており、 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックスなどの研磨が可能。 試料に合わせた研磨盤・研磨剤を使用することでより良い研磨面が得られます。 【特長】 ■パーソナルタイプの研磨機 ...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

卓上型精密研磨装置

ラッピング(粗研磨)からポリッシングまでこれ1台　GaAsやInPとい…

を0.1μm分解能でモニター＆自動修正を行います。 研磨治具が装置本体と通信し、研磨レートのチャート表示や目標研磨量の設定、マルチレシピの設定などが出来ます。 また、GaAsやInPといった化合物半導体のCMPに対応した薬品モデルもご用意しており、高精度、高速、ダメージレスのCMPも一台で全て行うことが出来ます。（ディレイヤリングも可）...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

高耐熱樹脂　『PEEK』　【短納期　小ロット　対応可能】

半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！ 切削…

PEEKは「高耐熱性」「機械的強度」「耐薬品性」などに優れた熱可塑性高機能樹脂(スーパーエンプラ)。 PEEKは連続使用温度約250℃、融点は334℃で熱可塑性樹脂で最高ランクの熱的特性を誇る。 耐薬品性に非常に優れており、高温下での耐酸・耐アルカリ性に非常に優れている。又、幅広い周波数範囲で優れた絶縁性・誘電特性を発揮。 PEEKは切削による1個からの対応に加え射出での量産ロットにも対応可...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計

高純度流体向けの高精度圧力計

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

CMPパッド再生・再利用技術 再盛エコキャップ

CMPプロセスにおいて、コストを大幅に削減可能な研磨パッドの再生技術が…

半導体の平坦化(CMP)プロセスにおいて、コストを大幅に削減可能な研磨パッドの再生技術が誕生しました。...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

【半導体製造装置　旋盤加工　フライス加工】大阪

アルミ精密部品　半導体製造装置　【コストダウンはフィリール株式会社にお…

♦材質 A2017　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 旋盤加工 ♦表面処理 　－　(日本国内) ♦個数 　30個 ♦説明 半導体製造装置のアルミ精密部品となります...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

アルミ旋盤加工／大阪／フィリール株式会社

単品・小ロット・旋盤加工・精密切削【コストダウンはフィリール株式会社に…

♦材質 A5052　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 ♦加工方法 CNC旋盤加工 マシニング加工 ♦表面処理 アルマイト処理　(日本国内) ♦個数 1個 ♦説明 半導体製造装置のアルミ精密切削部品となり...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に対し「SEMI-F47」の規格では 電圧低下50％継続時間0.2秒以下、または電圧低下30％継続時間0.5秒以下の 瞬時電圧低下に対して耐性を持つよう要求されています。 【瞬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー