残圧下で簡単接続！液だれほぼ無しストーブリの大口径カップリング！

PR着脱時の液だれがほぼゼロ【ノンスピルカップリング】　/　圧力損失がほぼ…

【大口径ノンスピルカップリング】 製品名：【TCH】　/　【TCB】　/　【TTX】　(全3種類) 残圧下6barまで簡単に接続可能！着脱時の液だれほぼ無しを実現！ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング！ ＜特長＞ ・着脱時の液だれ/エア噛み/コンタミ混入ほぼゼロのノンスピル構造で、現場や作業者の安全を守ります ・誰でも簡単にハンドルを回すだけで接続を可能にしたストーブリ独自の技術...

メーカー・取り扱い企業： ストーブリ株式会社

『ガラス瓶耐内圧試験装置』※油圧レスで省エネ＆低騒音

PRJIS S 2302「炭酸飲料用ガラスびんの耐内圧力試験方法」対応。加…

『ガラス瓶耐内圧試験装置』は、 高精度な加圧と任意の昇圧カーブ設定が可能な装置です。 圧力発生装置にはACサーボモータ駆動を採用し、 油圧レスにより省エネで低騒音を実現。 JIS S 2302（1994）に対応しており、 炭酸飲料用ガラス瓶の耐内圧力試験に適しています。 【特長】 ■加圧精度は設定値に対して±0.05MPa ■任意の昇圧カーブが設定可能 ■圧力発生装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本水圧工業所 本社・工場

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

ボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1100（W）× 1800（D）× 2000（...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×2200（H） ※詳しくは、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社