ガスの切替”自動化”のご提案＜基礎知識と製品をまとめた資料進呈＞

PR「ガス自動切替器とは？」「ガスの切替を自動化するメリット」等、ガス切替…

当社は、ボンベ内のガスが無くなると、自動で別のボンベに切り替える『ガス自動切替器』を幅広く取り扱っています。本資料では「ガス自動切替器とは？」「ガスの切替を自動化するメリット」等ガス切替の自動化のために必要な知識と、製品ラインアップをご紹介しております。 【水素用Air作動弁のご紹介】 ■大口径、高圧、水素用Air作動弁 ■型式：AV-20NSC-70-80SW ■流体：水素を含む可燃...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

様】 ■ビームエネルギー：10eV～3000eV ■ビーム電流：20nA～1.9μA ■ビーム径（半値幅）：φ0.15 mm～φ5mm ■最大平均電流密度：6.94mA/cm2 ■最低動作圧力：5.5×10^-6Pa 以下 ＊メインチャンバーのベース圧：1.87×10^-6Pa ノンベークにて ＊差動排気1か所にTMP50L/s1台で引いた場合 ■差動排気ポート：ICF70 ■イ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン