プラスチックベースの多孔質素材『連続多孔質体』※サンプル無料進呈

PR柔軟性・通気性・浸透性・捕集性！さまざまな用途の機能部品として幅広く使…

小さな空間(気孔)が無数に連なっており、その空間と空間の間の壁の一部が 開口した立体網目状の気孔構造の素材を『連続多孔質体』といいます。 ヤマハチケミカルの当製品は、プラスチックをベース材料としており、 柔軟性・通気性・浸透性・捕集性などが特長。繊維などを使用して おりませんので、ほつれや脱落もなく安全に使用可能です。 一般的な多孔質材では困難な形状や機能を付与した機能的な多孔質...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハチケミカル株式会社

TCGランナー『CRS&CPSシリーズ』＜ステンレス仕様＞

PRステンレス製の耐食性に優れ、高い防錆効果を有したノンバックラッシラック…

『CRS&CPSシリーズ』＜ステンレス仕様＞は、TCGシリーズの ノンバックラッシ、高精度、低摩耗・低発塵等の特長そのままに、 ステンレス鋼を用い製作したTCGランナーです。 製品オプションにて、封入/塗布するグリースを指定品に変更することや、 微粒子やイオン状物質を除去する精密洗浄の実施も対応可能です。 継足し治具を使った長尺使用や180m/min以上の高速走行も可能です。 送り精度と位置決...

メーカー・取り扱い企業： 加茂精工株式会社 本社

マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup

研究開発用途から生産まで幅広いニーズに応える マニュアルスピンコータ…

リソスピンカップシリーズは、マニュアルでありながら自動塗布/現像装置と同等のスピンユニットを採用しているため、オートディスペンサ、各種リンス、廃液自動回収、カップ排気等に標準で対応しています。簡単かつ安全に高精度なレジスト処理が行えます。 また、プライマ...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

マニュアル・レジスト／塗布現像装置

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置。 マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズ

塗布ユニット/現象ユニット搭載。2''～8''ウェーハの簡易切換え可。…

自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズは弊社独自に、研究開発用途から量産用途まで、ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な装置開発を進めてきたレジスト塗布・現像・ベーク装置です。お客様の...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

マニュアル・ベーク・クーリングLWBシリーズ

高精度ベークプレート、高精度クーリングプレートを採用。ベーククーリング

マニュアル・ベーク・クーリングLWBシリーズは自動レジスト塗布・現像ベーク装置、LITHOTRACシリーズに搭載されている高精度ベークプレート、高精度クーリングプレートを採用したマニュアルのベーク・クーリング装置です。上蓋内側からプロセス・ガスが基板上に均一に...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社