【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

半導体製造装置振動モニター -変位データを長期間ロギング-

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト半導体製造装置振…

■□■特徴■□■ ■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、 除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録 ■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力 ■本システムで保存したデー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

多軸変位計　集録モジュール

多軸変位計　集録モジュール

キーサイト・テクノロジー社製のレーザアクシスボード10897Cを使用し、多軸測定、同期測定が可能です。テストプログラムが付属されているため、即日稼働できます。いままではお客様にてハードウェア、ソフトウェアを設計・製作しておりましたが、それらが不要になります。内部／外部トリガ入力があり同期測定が可能です。...キーサイト・テクノロジー社製のレーザアクシスボード10897Cを使用し、多軸測定、同期測定...

メーカー・取り扱い企業： 太陽計測株式会社

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイ...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

タクトタイムの大幅削減と微細塗布を実現！新型超精密ディスペンサー

連続塗布でタクトタイムを大幅削減！高精度な微細塗布も可能にする新型超精…

ワーク：ネットワーク処理速度が16倍向上（理論値） ■タクトアップ：処理速度の向上によりタクトタイムが大幅に削減 ■GUIアイコン化：直感的にスクリーン操作可能 ■より多くのワークに対応：同軸変位センサの標準搭載 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

ＮＥＷ温度可変レーザ三次元測定機

リフロー時における熱変形を高精度測定　半導体パッケージ・プリント基板・…

変化による熱変形を非接触で精密に測定することができます 温度設定は-70℃〜350℃の範囲で任意に設定できます。試料台の温度保持精度は±0.3℃以内の高精度を実現しています。 レーザーフォーカス変位計の採用により、試料表面の材質・色・傾き・粗さの影響を解消して高精度で安定した測定を行います。 レーザースポット径はΦ7μm、分解能は0 2μmで微細な測定も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

全自動衝撃試験装置

小型基板・ＩＣの耐衝撃性を評価　〜規定質量の落下プローブを一定の高さか…

ないよう、『リバウンド防止装置』が付いておりますので安定したシングルインパクトによる評価試験が可能です。落下プローブは、任意の質量で製作可能ですので幅広い用途に対応可能です。測定サンプル下方にレーザ変位計を搭載しており、衝撃によるサンプルのたわみ量を直接測定できます。操作は、規定質量のプローブを選定し、落下高さ・繰り返し回数を入力するだけで全自動繰り返し運転ができます。落下高さはエンコーダにてパル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください！！...高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

【簡易スペック】 ■3D変位計KEYENCE WI-010 2台搭載 ■計測時間1枚0.35秒 ■トレー入れ替え0.5秒以内 ■JEDECトレー最大セット数40枚自動投入 ■NGワーク自動排出後、OKワーク自動投入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン