【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

小型触媒式脱臭装置【運搬可能なテスト機あります】

PRキャスター付きで移動できる小型触媒式脱臭装置！触媒式だからこそ、フィル…

トルエン、キシレン、酢酸エチル等のVOC（揮発性有機化合物）ガスや悪臭を含んだ排気ガスを、 酸化分解処理することによりVOCの除去や脱臭を行う『小型触媒式脱臭装置』です。 局所排気や一時使用を可能にするため、軽量・コンパクト化を実現し、 キャスターを付けることで必要な場所へ移動させて使用できる、可搬式脱臭を可能とした装置です。 【特徴】 ・処理風量 1Nm3/min、3Nm3/min、 5Nm3...

メーカー・取り扱い企業： TESSHA株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MP...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■エアーナイフ・温風乾燥 ■搬送系（マグネットローラー方式） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■基板サイズ：126-156mm角対応 ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：2200（W）× 850（D）×...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×22...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社