【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？ 除害装置前段での副生成物対策 ・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？ ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧 ボールバルブ　#手動 ボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 　　　　　 　この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する 回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気 が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

x500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） 寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ガスボックス

ガスボックス

系統図、使用ガスの流量を御指示いただければ、確かな物を安価で迅速に供給できます。 【製造事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造をおこなっております。 ※詳細は【資料請求・】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

ガス配管

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

半導体向け溶接ガス配管　 その他製品事例・・・ ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造 特殊材料ガス配管工事、その他 など様々な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

シリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

【仕様】 ■排気系：ロータリーポンプ（ターボポンプ御要望の場合は別途御相談下さい） ■試料ステージサイズ：20 × 40 ■試料ステージ回転機構：ステッピングモーター（回転速度可変可能） ■真空計：ピラニー真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■到達真空度：1Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール：手動（オプションで自動可） ■成膜対象物：最大Φ100mm×500mm ■高周波出力：最大1kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC