フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

Butech　バルブ・フィッティング・チューブ・アクセサリー　

超高圧に対応！BuTech社製品を掲載！

当カタログでは、当社が取り扱うBuTech社の『バルブ・フィッティング・ チューブ・アクセサリー』を多数ご紹介しています。 同社は、高圧パイピングシステムの構成部品専門メーカーとして創立されました。 低圧から超高圧の標準製品群はほとんどのご要求に対応可能なほか、 素材・設計条件上の特殊仕様のご要望にもお応えします。 当カタログでは、吹き出しの無...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部