フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

雰囲気制御ユニット搭載 横型真空パージ式窒化処理炉 RAV-N型

リアルタイムの雰囲気自動制御により、高い品質制度を実現！

広築製の真空パージ式横型窒化炉「RAV型」と、パーカー熱処理工業株式会社製の窒化ポテンシャル制御ユニット「NITRONAVI」で構成します。 この組み合わせによって、高品質・低コスト化のニーズに加え、環境負荷低減や労働力の確保といった課題解決に貢献しながら、 窒化処理が本来持つ可能性を最大限に引き出すことが可能となりました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部