フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

SMT印刷機 NeoHorizon iX プラットフォーム

様々な印刷アプリケーションに対しマスクのデザイン・製作から印刷ツーリン…

法に基づく工程の繰り返し精度を最大 ±20 μm @ 2 CpK まで向上させました。 全プリンターが AVS 認定済みで、AVS の認定証を付けて発送いたします。 特徴 ■フレキシブルな構成で後からオプション追加が簡単 ■機械繰り返し精度：±12.5 [μm] @ > 2 Cmk (±6 Sigma) ■DEK Grid-Lok (自動基板サポートシステム)や2次元はんだ検査機能使...

メーカー・取り扱い企業： ASMPT Japan株式会社

SMT実装機（表面実装機）『SIPLACE SX』

小ロット多品種生産に適した柔軟性のあるマシンがリニューアル。拡張性があ…

【その他特長】 ■プロセス安定性を実現するデジタルSIPLACEビジョンシステム ■最適化されたライン構成のため２つまでののガントリーとシングルレーン、デュアルレーンのスマートコンベアオプション ■大型基板対応 ■実装速度　86,500 CPH ■フィーダー容量　120トラック（8 mmフィーダー...

メーカー・取り扱い企業： ASMPT Japan株式会社

SMT実装機（表面実装機）『SIPLACE Xs シリーズ』

高い生産能力！要求の厳しい大量生産アプリケーションに好適なSMT実装機…

【その他特長】 ■プロセス安定性を実現するデジタルSIPLACEビジョンシステムを搭載 ■ライン構成を最適化するための、最大4つの実装ヘッド（ガントリー）とシングルレーン、デュアルレーンのスマートコンベアオプションを選択可能 ■2タワー、1タワー、JEDC専用など、豊富なタイプのトレーチェンジャ...

メーカー・取り扱い企業： ASMPT Japan株式会社