SCCR対応バスバーユニット【UL508A認証制御盤】

PRプラグイン式なら標準シリーズラインナップからご希望の仕様に合わせた品番…

【バスバーユニット】は、UL508Aオープンパネルタイプとなります。 お客様の装置へ組み込むユニットやパネルの一部分のみをUL508A認証品とする事が可能です。 プラグイン式は標準シリーズから品番選定が可能！ フローチャートに沿ってご希望の仕様を選択するだけで幅広いラインナップからお選び頂けます。 弊社は現地要求の SCCR 50kAを満たすことが可能！ また、UL・ETLの制御...

メーカー・取り扱い企業： 布目電機株式会社

ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの 焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した 卓上型真空はんだリフロー装置です。 有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも 余裕で対応することができます。 【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用途に対...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

3インチカソード3元を装備した標準型スパッタ装置をカスタマイズ。 専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。 Ｌｉ系複合酸化物　硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応 実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードな...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを 採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる 高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により 優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。 自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。 また新開発のアーク放電式マ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

標準５００ｍｍ□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 Ｆ系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしＳｉ系・ＳｉＯ2系・ＳｉN系のエッチング及びアッシングに対応。またＡｒガスを主とした基板のクリーニングやＯ2ガスによる表面改質など多様な用途に実績。 基板の種類や目...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装…

【ラインナップ】 ○PBll-C600（R&D中型機） →サイズがコンパクト →真空排気時間も非常に短く成膜時間の短縮にも繋がる ○PBll-R1000（標準機） →生産機としても使用できる ○PBll-R1500（標準大型機） →R1000の5倍の容積を持つ大型機 →R1000と同様の使い易さで大型・長尺ワークへの成膜も可能 ●詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

大気圧プラズマ装置　エアープラズマECO（エコ)シリーズ

【オートモーティブワールド2020出展】低コスト！シンプルで経済的な大…

Bar (CDA 99%) ■消費電力：< 1.5 KW ■消費エア流量：20～40L/min (ノズル１本当り) ■外形寸法：357mm(W) × 534mm(D) × 186mm(H)-標準サイズ ■重量：36～40 Kg ■ホース長：標準 3m (1～10m オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

CXコーティング　防水　防湿　生体適合性　無償コートも受付中

防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティン…

ります。絶縁性は膜厚によって絶縁破壊電圧なども変わってきます。用途によって膜種を選定し、お客様へご提案させていただいております。 上記の性能を薄膜(５μm)のコーティングで提供できます。弊社の標準膜厚が5μmを推奨し、用途や環境によって膜厚をご提案・ご相談することが可能です。無償コートも受付けておりますので、是非一度お問合せを！...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社グループ

プラズマ表面処理装置『PlasmaDyne Pro』

導電性・非導電性を問わず、強力で均一な表面改質／表面洗浄を実現します

【処理ヘッドの特長】 ■ビームの長さ：30mm ■標準ヘッド－被処理面間距離：5－25mm ■静止型：最大処理幅：10mm ■回転型：処理直径：40mm 　（静止状態で円形の領域－移動状態で処理直径幅を処理） ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社

VacuTEC-真空プラズマトリーター

低電力と特別な処理用ガスを必要としない設計！材料に応じて20～120秒…

【その他の特長】 ■標準チャンバーも用意されているため用途により選択可能 ■アルゴンや酸素などのプロセスガスを使用できるが、ほとんどの場合は必要ない ■プラズマプロセス全体は、HV-XジェネレータとPLC装置により制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

HV-X-プラズマ＆コロナジェネレータシリーズ

真空プラズマ＆コロナ処理用ジェネレータ！重要なパラメータのほとんどを制…

【制御モード】 ■シンプルモード ・フロントパネル上のノブとLCDディスプレイを使用して、ごく基本的な 　パラメータのみを調整できる ■Modbus（標準） ・全パラメータの設定や保存、検証、監視を含む完全なパラメータ制御を実現 （ProfibusやCANopen、その他のバス制御はオプション） ■オペレータインターフェース制御、Tantec ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに！メタルフリータイプ

メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を！シリコ…

エハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケータ膜は有機系の材料の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

【主な特徴】 ○シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。 ○疎水性試料を簡単親水処理。 ○標準ターゲット金属は金パラジウム。 ○排気系は床置きRP。 ○イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。 →排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。 ○機能切替はボタン一つで楽々。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

8インチまでの標準径ウェハと6インチ□までの矩形基板に対応したフレキシブル対応が特徴。小径ウェハや不定形基板には専用搬送トレイで基板搬送や成膜が可能。 メタル成膜においてはウェハプロセスの配線・電極膜・薄膜磁気デバ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店