【資料】レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置の提案

PR人が行っているピッキング及び組付けを重筋作業軽減及び工数低減を実現！

当資料では、「レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置」の 構造をご紹介しております。 走行(X)方向駆動装置、横行(Y)方向駆動装置、昇降(Z)方向駆動装置の 詳細や、位置検出機構の詳細などを図を用いて解説。 その他、使用事例もいくつかの写真とともにご紹介しておりますので、 導入検討の際に参考にしやすい内容となっております。 【掲載内容(一部)】 ■Knight...

メーカー・取り扱い企業： シンテック株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。 3.アライメ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

遠赤外線加熱装置

遠赤外線加熱装置

Futaba のアニール炉は、高分子材料加熱で多くの実績を持つ弊社独自の遠赤外線ヒーターと、永年の研究開発から生まれた独自の照射機構によって最も効率の良いアニール処理ができます。 高速度、高信頼性の"Futabaのアニール炉"は、数多くのユーザー各社にご好評を頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二葉科学

コンベア式エッチング装置

お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能で…

液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク　100mm角～1000mm角まで対応可能。（他のサイズ、形状は別途相談） ■揺動機構（水平揺動・スプレーノズル首振り）を付けることにより、処理効率を向上させます。 ■カセットtoカセット対応も可能。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

サーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター