独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech名古屋出展＞

PRエアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ！…

新製品！カスタムクランパー エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ。 両端に追加されたリニアブッシュにより、スラスト荷重を受けることが出来ます。 カスタムクランパーをならいユニットに使用すれば、素子の配置パターン替えも容易になります。 高さ調整や位置決め、Z軸の落下防止用途、治具、ロボットハンドなど、様々な用途にご利用いただけます。 【使用例】 ■ワー...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

機械設計エンジニア　人材派遣サービス (機構/CAE/解析)

日々変化するお客様のニーズに対応し、開発の全工程における機械設計をカバ…

開発工数不足で悩むそこのあなた！ 人材派遣というスタイルでその問題を解決しませんか？ 現場で多くの経験を持つエンジニアが多数在籍しております。 このページの中には悩むことなく解決できる方法があります！ ・即戦力で設計できるエンジニアが欲しい ・評価対応のみでよいので、すぐに評価者が欲しい ・稼動部分の設計ができるハイスペックエンジニアが欲しい ・解析（シミュレーション）ができるエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アウトソーシングテクノロジー

生体適合材料・医療用プラスチック

高機能、かつ安全な材料で医療機器産業の明日を拓く！

＜第１章．生体適合材料＞ 　材料設計に必要な生体適合性・血液適合性発現機構～生体と材料の相互作用 ＜第２章．成形加工技術＞ 医療機器用高分子材料の種類と用途およびその成形加工技術 ＜第３章．安全性評価＞ 　医療用プラスチックスの安全性評価について ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

空転式プリセット形トルクドライバーRTDシリーズ

量産からメンテナンスまで広範囲に使えるオーバートルクしない空転式トルク…

■他社品とはココが違う！ 東日の空転式トルクドライバRTDは1)目盛ロック機構の「ロッカー」が六角形。コロコロ転がって落とす心配を低減。2)ゲイン調整とゼロ調整が可能。校正後の調整が大掛かりな分解をしなくても可能。3)部品交換を最低限に抑えられるので、コスト低減と時短（部品発...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東日製作所

紫外線洗浄改質装置【回転機構を取付可能。むらなく照射！】

密着性、濡れ性の向上に！コンパクト設計の紫外線洗浄改質装置『OZB-0…

『OZB-021』は、短波長紫外線とオゾンの効果で有機化合物の分解、 洗浄及び改質を行う紫外線洗浄改質装置です。 均一性に優れた平面グリッド管ランプを採用。 操作スイッチ及び安定器電源一体型のコンパクト設計となっています。 また、照射時間の設定調整機能及びランプ寿命積算計付きです。 【特長】 ■均一性に優れた平面グリッド管ランプを採用 ■操作スイッチ及び安定器電源一体型の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社たけでん UVシステム G

【書籍】薄膜の応力・密着性・剥離トラブルハンドブック

＜Ｑ＆Ａ集付＞ 手元に欲しい一冊！

●表面・界面を評価、分析するポイント！ ●現場では聞けない＆聞く人がいない ●膜の剥離・剥がれ・割れにはどう対応するの？ ●良質の膜とは、その作製法とは！ ●薄膜プロセスによる応力の発現機構を理解！ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

ダイボンダー/フリップチップボンダー FALCONシリーズ

マルチな高精度部品搭載に対応！高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…

らオート仕様までユーザーのニーズの沿った 装置をラインナップしたダイ・フリップチップダイボンダーです。 オプションを組み合わせによる御社要求仕様でのダイ・フリップチップボンダーの製作を実現。 加熱機構、高荷重接合、ウェハからのピックアップ、チップ反転機能等、お客様の仕様に適した装置を提案可能。 また、搬送機などを取り付けたフルオート仕様に対応可能な上位モデルもあり、 弊社自社製品ですので、ご希望...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

非空転式プリセット形トルクドライバーLTDシリーズ

設定トルクに達すると約15度の空転感覚で締付け完了をお知らせ。衝撃・振…

■東日の非空転式プリセット形トルクドライバーLTD15CN～500CNの6機種のトルク目盛にはロック機構を標準装備し、使用中に目盛の移動がありません。 ■ここが違う！！1)ロック機構の「ロッカー」の外形を「丸」から「六角形」に変更。机の上からコロコロと転がり難くなり、落下による破損の心配を低減。2)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東日製作所

ピエゾアシストステージ

手動で制御する精密位置決めステージ

ピエゾアシストステージの動作原理 ■装置の構成 ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

超音波カッティング装置『株式会社 高田工業所製』

超音波振動を付加して脆性材や複合材などの難切材を効率よく切断を行うダイ…

■対応ワークサイズ：6インチ、8インチ ■搬送機構：自社製搬送機構 ■装置仕様：セミオート、フルオート ■インライン、プリカット機能（オプション） ■上位通信対応可能 ■オートアライメント機構を標準装備 ■マルチレシピ対応...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

ウェハプロセス用真空蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…

は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を 実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。 量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性の高い基本構成 ■豊富なオプシ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

スの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 Ｒ＆Ｄ用小型機やシート対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

樹脂、プラスチックの原料検査『ペレット・パウダ異物検査装置』

樹脂、プラスチックの原料検査に最適！　独自開発の検査機構でペレットやパ…

能。 ●タッチパネルで条件設定、あとはボタン1つで自動検査が行える簡単な操作性。 ●自動サンプリングラインとの接続でオンラインの自動検査も可能。 ●エジェクタによる吸引で容器内に異物を回収する機構があり、解析などに便利！ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX-400シリーズ』

SiC・LTCCなどの難切材からガラス・樹脂などの複合材など多様な材料…

■基本仕様 ・対応ワークサイズ：6インチ、8インチ ・搬送機構：自社製搬送機構 ・装置仕様：セミオート（CSX-400）、フルオート（CSX-401） ・装置サイズ（WxDxH）・重量： 　840x1,020x1,700mm、1,500kg（CSX-40...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

『バーコート用自動倣い機構付きアプリケーター』

被塗布材の起伏に追従する機能を装備！バー位置調整に掛かる時間を抑制しま…

『バーコート用自動倣い機構付きアプリケーター』は、被塗布材の 起伏に追従する機能を装備しているため、塗布前のバー位置調整に掛かる 時間を極力抑えることが可能なバーコーターです。 被塗布材の起伏が原因で塗膜厚の一定が...

メーカー・取り扱い企業： ユーケーテック株式会社 神奈川県川崎市高津区新作２−１８−３２

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応 ■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・ 　有機物用蒸発源　リフトオフプロセス対応） ■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極追加対応 ■サンプルテストからハードのカスタマイズ、納入後...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

「低価格版」ウエハ・チップ外観検査装置

ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が…

（オプション仕様） ・ ローダー・アンローダー対応可能　 ・ NGチップ排除機構対応可能 ・ 高さ補正を行いながら検査が可能 ・ NG箇所へのマーキング機構対応可能 ・ 排出ミス、マーキングミスの確認機構対応可能 ・ 2Dコード読み取り機構対応可能 ・ 供給時にワーク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

量産対応バッチタイプスパッタリング装置　（STH10311型）

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

装置形態 平行平板型サイドスパッタリング装置 カソード：ロータリーマグトロンカソード３元 対応基板：φ４１０までの平板基板 カソード電源：DCおよびRF 付属機構：基板加熱機構、逆スパッタ、バイアススパッタ機構 オプション機構 同時スパッタ機構 CｔｏＣ化、インライン化...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マニュアルプリカットテープマウンター PFM-9008

プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンター

■特長 ・貼付け動作とテープ送り出しのメカニカルリンク機構搭載。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・貼付ローラーの自動平衡機構内蔵。 ・UVカットカバー標準装備。 ・オプション：ヒーターユニット、静電気除去ユニット。 ・テーブルトップタイプ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

金属等立体形状部品・成形品への表面処理に各種コーティングを効率的に行えるドライ表面処理装置です。金属・セラミックス等各種薄膜を全面に成膜できます。 特徴 ◎立体形状部品への外周全面成膜 ◎特殊機構によるコップ・タンブラー内面コーティング ◎天然由来のドライ親水性コーティング（プラズマ溶岩コーティング） ◎電子基板から樹脂装飾まで幅広い用途に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…

当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法：最大φ3インチ ■基板加熱温度：...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と管理を実現。 半田付室の前後に基板搬送機構を追加。ハイスループットと高いレベルのボイドレス半田付を両立。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

【その他の特長】 ■抵抗加熱蒸発源 ・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易 ・ボート以外にフィラメントの装着も可能 ■基板保持機構 ・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易 ・オプションで加熱/冷却機構の実装可能 ■蒸着シャッタ ・手動式直線型シャッター機構により任意の安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

【オプション例】 ・反射電子抑制ユニット ・基板加熱 ・基板冷却（低温成膜） ・基板回転機構 ・プラネタリー回転機構 ・膜厚コントローラー（自動成膜） ・ロードロック機構 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

全自動スクイ二軸専用研磨機『EAHW-083II』

安定した操作性・抜群の耐久性を実現！高精度、高能率のスピードマシン

『EAHW-083II』は、独自のカム機構により安定した操作性・抜群の耐久性を 実現した全自動スクイ二軸専用研磨機です。 研磨位置停止機構の採用で研磨量の設定が簡単。 平刃飛ばし機構により組刃にも対応します。 ご用命の際は、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

全自動側面二軸専用研磨機『EFII・III』

左右に軸同時研磨で2倍の作業力！研磨位置停止機構の採用で研磨量の設定が…

『EFII・III』は、オシレーション機構により優れた面精度を実現した 全自動側面二軸専用研磨機です。 カム機構よりチップと砥石の当たりがスムーズなので砥石が長持ち。 研磨スピードは無段変速出来ます。 ご用命の際は、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

『カムラップ装置』

追従機構により形状を崩さない！テープ研磨・ブラッシングの複合装置

への供給は、作業者が行い、起動スイッチにより自動で加工、 シュート排出され、作業者が取り出す半自動機です。 カムの形状にテープユニットのバックアップローラが、サーボモータによって 追従する機構を設けており、形状を崩しません。 【特長】 ■サーボモータによって追従する機構を設けており、形状を崩さない ■テープ・加工時間・加圧等のパラメータを変更して対応可能 ■テープ研磨・ブラッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、 外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。 サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。 簡単に試料セットする事ができます。 オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

マスフロー本体は、メーカー品を使用。表示器、設定器は当社オリジナルで 製作し価格を下げております。 また、プラズマ発生域と試料の距離を変更できるよう、マイクロ波導波管を 上下できる機構を備えています。 【特長】 ■実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換 ■漏洩マイクロ波検出用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

基板設計・実装・組立サービスのご提案

設計から実装・検査・出荷まで柔軟に対応します。 さまざまなメーカーの…

軟かつスピーディーなサービスを提供します。 ◆回路設計：アナログ回路、デジタル回路設計に対応可能。 ◆ソフトウエア設計：マイコンソフト、アプリケーションソフトウエアに対応可能。 ◆機構設計：試作、量産製品まで一貫した、機構設計に対応可能。 大型3Dプリンタを保有しており、300×250×250mmの試作モデルや 製品ラインに必要な治具作成も対応可能です。 半導体製造関連...

メーカー・取り扱い企業： ヨーホー電子株式会社

直進トロコイド歯車の設計製作支援ソフトウェア

ピンラックとトロコイド歯車の組み合わせによりバックラッシレスの直動直進…

インボリュート・ラック機構では困難なバックラッシレスの噛み合い機構をピンラックとトロコイド歯車の組み合わせにより実現します。ピンラックとトロコイド歯車の設計製作支援ソフトは簡単な入力データよりラック歯形の修正、自動歯形誤差計...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ジーボックス

環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』＋装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

融合不良の抑制力を大幅に改善 ・実装後の電気検査直行性アップ （当社従来製品と比較） 【鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉　SNR-825】 ドラゴンブローシステム及び最新式フラックス回収機構を搭載!鉛フリーにおける高品質なはんだ付けを実現。 □特長 ・新開発ドラゴンブローシステムにより、超低ΔＴが実現 ・ヒーター毎の温度設定が可能で設定自由度が高いプロファイルが可能 ・最新...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

高密度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。 立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作性と安定した稼動を実現 オプションで従来型ＰＩＧーＣＶＤ機構...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローま...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

00℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温 ◎ 面内温度分布 ±2%以内 ◎ 制御精度・再現性±1℃ ◎ 低価格 ◎ 短納期（標準約2週間 *フランジ付き, 回転・上下機構, 取付ブラケット付きなどは除く）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

精密研磨機『IS-POLISHER ISPP-1000』

小型・軽量・省スペース！試料にダメージを与えず、誰でも熟練者並みの仕上…

・研磨盤回転数・方向、揺動範囲・速度などの 研磨条件を操作パネルで簡単に設定できるのが特長。 さらに数値と手順を記録し、誰でも熟練者並みの仕上がりを再現できます。 【特長】 ■研磨量調整機構により削り過ぎによる試料消失を回避 ■研磨品質に影響する動作パラメータなどを数値化 ■微小荷重研磨により試料への研磨損傷を極端に軽減 ■包埋せずに研磨できるので試料完成までの時間を極端に短縮 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社池上精機

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

横型石英管タイプを標準とし４００～１０００℃程度の加熱に対応しています。 ４～６インチウェハの本格量産用途に対応した縦型タイプ（ウェハ自動搬送機構付）と４インチ以下のウェハに対応した横型タイプの２機種をラインナップ。 目的に合わせて開閉型の加熱炉体や急冷用空冷ファンの装備が可能で、高真空排気系・Ｏ２ガス系・ＡＰＣ機構など多くのオプション類を...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フィルム貼付装置｜マニュアルマウンター FM-224シリーズ

研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択…

■主な特長 ・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。 ・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。 ・円周カッター内蔵。 ・水平カッター内蔵。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・オプション：ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む 厚膜の形成が可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ、輻射光防止対策） により低温蒸着が可能です。 【特長】 ■蒸着粒子の基板への入射角の垂直性（90°±3°at6インチウェハ） ■基板水冷機構によ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

モーター関連装置『SCL-7WBA』

ブラシ機構により切削時に発生したバリ切粉の除去を行う事ができます。

粉除去の為、 ブラッシングを行い、搬出する全自動機です。 ダイヤVブロックでのシャフト支持によりコンミ切削を行いますので、 シャフトとコンミの同芯度を得る事が出来ます。 また、ブラシ機構を設けて有りますので、切削時に発生したバリ切粉の 除去を行う事が出来ます。 【特長】 ■シャフトとコンミの同芯度を得る事ができる ■切削時に発生したバリ切粉の除去ができる ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン