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『アルマイト処理/加工』※アルマイト処理に関する技術資料を進呈
PR当社の高精度なアルマイト処理技術により、 アルミニウム製品へアルマイ…
試作から量産まで、幅広いご要望に対応いたします。 【特長】 ■耐食性・耐摩耗性・熱放射性などの特性が向上 ■高い電気絶縁性 ■シュウ酸アルマイトは、硫酸アルマイトに比べて表面の粗化を抑制 また、高Si含有のアルミダイカスト部品に対し膜厚均一性が高い ■低反射率化(光学機器・センサー等で不要な反射を抑制) ■抗菌作用の付与 ■アルマイト条件を高精度に管理することで、 膜厚・皮膜...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社豊田電研
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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造(密閉式、回転カップ式) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します! アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像(1流体、2流体)など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます! また、厚膜レジスト現像~微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載(オプション:全面露光ユニット) マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたライ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…
ウェハ(基板)をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット(キャリア)でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません! ドライイン・ドライアウトで処理に関して作業者に薬液の付着の心配がありま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】+【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去! ●【膨潤+高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能! ・高温ベークで取れづらくなったレジスト ・ドライエッチング後のレジスト ・微細パターンの奥深くのレジスト また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません! 厚膜のメタル、酸化膜など、エ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高圧ジェットで驚きの剝離能力!当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
物理力と化学力のW(ダブル)効果リフトオフ! W効果リフトオフとは? ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット(MAX20MPa)により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…
1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像…
N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 マニュアル機~フルオート...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
高粘度レジストの塗布に強みを持っています! 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5%以内に納めます(φ300mmウェハ) ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です(保有特許:第3821468) 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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