高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コーティング剤検査装置『Sonar』

PRUVライトを使った2Dコーティング剤検査装置。独自開発AIを使った気泡…

『Sonar』は、弊社が持つ画像処理検査技術とUVライト＋RG照明を組み合わせたコンフォーマルコーティング剤検査装置です。 コーティング領域の全面検査とコーティング不可領域の任意検査に加え、自社開発AI技術を使った気泡検出機能が標準装備されています。また、レーザー変位センサを使った膜厚測定（オプション）を搭載することでワーク毎のコーティング厚のバラつきを記録することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュッツジャパン

分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-105

多層膜など多くのパラメーターが一度に解析！小型・高速分光エリプソメータ

分光エリプソメータMASS-105は白色光を用いたエリプソメータです。レザータイプに比べ、多層膜などの多くのパラメーター（膜厚、屈折率、吸収係数）が一度に解析できます。分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。また、分光解析ソフト“SCOUT”を標準装備し､ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップし、研究用としても対応しています...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社

自動楕円偏光解析装置　レーザーエリプソメータMARY-102

小型・低価格・高精度・使い易さを追求した自動楕円偏光解析装置。

レーザーエリプソメータMARY-102はレーザー光による偏光解析法を用いてシリコンやガラス基板の光学特性、又はそれらを基板上の薄膜の膜厚や光学特性（屈折率など）を測定します。MARY-102は、ファイブラボ株式会社の光計測技術を基に、小型・低価格・高精度・使い易さを追求して開発されました。 シミュレーション機能等を充実させた研究用ソフトウェアの他に、ルーチン作業に適した工業用ソフトウェアもご選択い...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社