Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ

PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーアイエス

チップ素子欠陥検査機

高精度なXYZオートステージです。

ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウルトラマイクロスコープ

オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します！

ークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します。 2. 検査ワークの形状を画像識別して検査エリアや検査条件を設定できます。 3. Dalsaラインカメラが高速/高解像で全面スキャンして欠陥をマップ表示します。 4. 欠陥画像レビューとカラーカメラ欠陥位置を再現してライブ検査ができます。 5. 欠陥検査以外にパティクル検査やパターン検査に対応します。 ◎「カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハエッジ検査機　WEG3000

トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！

300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。 エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハチップモニタ検査機　型式 WBM-2000E

卓ライカAPOズーム光学系で高画質・最適倍率でのモニタ検査が可能！

ウエハチップの目視モニタ検査機で最高級光学系画像を見ながらオペレーターが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実にできる目視検査システムです。 エキスパンダリングをステージでステップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

オートフォーカス顕微鏡　LSAF2

ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置

を移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハエッジ検査機

計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！

ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

微小スポット露光顕微鏡

微小領域に紫外光照射検査ができます。

微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

サファイア自動検査機

検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能

サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

赤外顕微鏡

透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます

半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハBG・テラス検査機

オートアライメントと自動検査を　ハイスループット1枚30秒で検査します

ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハ欠陥自動検査機　WEG8000

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。

【特長】 1. エッジ部3面の同時検査可能 2. 欠陥と異物の識別機能 3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現 4. オリフラ部を含めた全集検査が可能 5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能 ◎「カタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック