FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

遠心分離式オイルミストコレクタ　クリーンワンダー

オイルミストの捕集に最適。高速回転ディスク遠心分離方式オイルミストコレ…

力によるディスクの自浄作用で、フィルタ方式に比べて目詰まりによる風量低下が少なく、長時間性能を維持します。 フィルタを使用していないため、フィルタ購入費用・交換作業費がかかりません。 ディスクを洗浄するだけですので廃棄物もなく、環境にも配慮しています。 また、切削屑の対応や油煙対策用のプレフィルタ、ミストの多い場合のアフタフィルタの他、コントロールユニット（電磁開閉器・漏電遮断器付き)をオプ...

メーカー・取り扱い企業： ミドリ安全エア・クオリティ株式会社