FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【総合カタログ】靴底洗浄機やエアシャワーなど　クリーン環境機器

PR総合カタログお送りします！簡単設置で工場の掃除をラクに＆クリーンルーム…

パイオニア風力機では、ご希望の方にエアシャワーや靴底洗浄機、空気清浄機など満載の総合カタログをお届けします！ 弊社製品を使用することにより、クリーンルームへの異物混入対策に役立 つのはもちろん、工場に設置するだけで日々の清掃の手間を削減します。 ＝＝＝＝＝【オススメ製品】：靴底洗浄機『エアー吸着マット』＝＝＝＝＝ マットの上を歩くだけ！強力エアーとブラシが土や靴底のホコリを取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイオニア風力機

精密洗浄

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及び…

【精密洗浄工程】 脱脂洗浄（60℃） →市水洗浄→純水洗浄→超純水洗浄→超純水超音波洗浄（60℃） ※『電解研磨』『不動態化』などの処理を追加することも勿論可能です 電気抵抗率（比抵抗）：18MΩ・...

メーカー・取り扱い企業： 東陽理化学株式会社

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ベストウォッシング(業務用）

【ベストウォッシング】は汚れを選びません。 自然にやさしい強力洗剤、…

ベストウォッシングは医療器具の洗浄剤として開発された技術を応用した 洗剤です。除菌・漂白・微生物分解・脱臭・手肌を傷めない無刺激など、家庭用から業務用まで幅広い用途を叶えた夢の洗浄。 強力な除菌・抗菌力 　強力な殺菌作用で...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ク・チャベル 埼玉営業所

電子部品生産/自動車部品/クーラント関連機械　総合カタログ

電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタ…

【掲載製品】 [電子部品生産システム関連機械] ○液晶UV照射装置 ○半田装置 ○ブラシ洗浄機 ○レジスト塗布機 ○液晶注入機 ○段積収納機 ○焼成炉アンローダ ○露光機 ○エッチング装置 ○検査装置 ○印刷機 ○レンズ成形機 ○通電装置 ○メッキ装置 ○その他 ...

メーカー・取り扱い企業： マトヤ技研工業株式会社

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

ループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較） ■1チャンバー完結 ■薬液の裏面廻り込み防止（特許） ■液・ミストの飛散、再付着防止 ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

メタルのリフトオフも高圧ジェットであれば一瞬で吹き飛ばし、リフトオフ可能！ 弊社の最大のメリットである温調した剥離液と高圧ジェットの組み合わせで取れずらいレジストも剥離可能です。 ブラシ洗浄からの置き換え、圧力をかけて剥離をするようなプロセスを高圧ジェットなら簡単に置き換えることができます。 【特長】 ■最大20MPaの高圧ジェットリフトオフ ■リフトオフ時のバリの除去 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事例もあります！ メタルや酸化膜剥離の他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。 また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません。 厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態のグラフ表示 10インチカラータッチパネル、非常停止ボタン、HEPAフィルター ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

ネオ現像液『D-701』

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

して適切な現像液です。 高解像度のため、パターン不良減少。(レジスト低膨性) スカムなどの残渣除去が非常に強いです。 【特長】 ■レジストの溶解量が多い(液寿命の増加) ■現像機の洗浄が非常に楽にできる ■溶液タイプの為、建浴が容易にできる ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマトヤ商会 新潟営業所

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

製作実績／半導体製造装置 関連部品

最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…

系樹脂のPEEK材（PK-450）による精密細穴切削樹脂加工です。 その他、実績多数！ 製品搬送用パレット、 特殊形状加工品、製品搬送プレート、基盤測定装置用プローブホルダー ワーク搬送用トレー、洗浄用メッシュ網カゴ　等 実績は、カタログ「100の加工部品」をご覧下さい。 公式サイトには、更に詳しく情報を掲載しています。 アルミ・ステンレス部品を単品加工で対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

ループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

【特長】 ■DIP並みの膨潤！ ■MAX20MPaの超高圧ジェット ■【膨潤＋超高圧ジェット】の繰り返し処理可能！ ■バリの除去 ■メタルの再付着なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄で使用可能 まずはデモのご検討をお願いします！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

MPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。 また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません。 厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ