オートストレーナー／ARSフィルター／自動洗浄・異物ろ過・粗濾過

PR現場ストレーナーの清掃作業や修理交換にかかるコストを大幅に削減する …

ARS (アース) シリーズは現場ストレーナーの清掃作業や修理交換にかかるコストを大幅に削減するオートストレーナー（自動ストレーナー）です。ろ過によって堆積する異物を自動洗浄することで、ストレーナー機能を維持します。 １. メンテナンス費用削減 　・砂濾過装置や熱交換器配管の前処理工程に好適 　・装置の異常や故障リスクを大幅に低減可能 ２. 省力化 　・メンテナンス作業の発生そのもの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社いけうち

フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

PRスクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れ…

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行 テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」

治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母…

弊社グループ会社トムコでは、長年の実績を誇る洗浄・再生技術に加え、粉末パウダーを溶融し素材表面にコーティングする表面改質技術である「溶射」の完全内製化を実現しています。 【特徴】 ■高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現 　・治具・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 　・石英管の形状・洗浄用途...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー 　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 　・微細パターンへ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」

独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱…

程にてご使用頂けます。 ◆コストダウンに貢献 　・長期のリサイクル使用が可能 　・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている 　・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる 【特徴】 　・高純度（純度はppmレベル） 　・高耐酸化性（長期間酸化雰囲気で使用可能） 　・高耐食性（Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能） 　・低拡...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

精密機械加工部品(トムコ)「確かな加工技術と短納期対応」

実績のある加工技術と短納期対応でお客様の優れた製品開発をサポートします…

弊社グループ会社トムコ 機械製造部では、精密治具･部品の加工から表面加工、洗浄までのワンストップサービスで、お客様設備の品質向上、コスト削減、部品の短納期化を実現します。 【特徴】 　・設計から加工、検査にいたるまで、最先端の機器を導入 　・5軸複合加工機へのアング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 　・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計 　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し） ■大手露光装置メーカーにより認可済 ■超音波洗浄及び純水...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行