【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

機上計測用タッチプローブTS 460/TT 460/SE 660

段取り作業の高効率化と高精度機上計測を実現

■ワーク用ワイヤレス式タッチプローブ　TS 460 ・接点摩耗のない光学式センサを使用 ・約500万回の測定サイクル実施後でも繰り返し精度が1 μm以下 ・プロービング速度に依存されない高い測定再現性 ・無線と赤外線のデュアル通信化による優れたワイヤレス性能 ・保護等級: IP 68 ・衝突保護ア...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

クローズド・ループを構築するアブソリュートリニアエンコーダ

クローズド・ループ位置測定で高精度加工を実現

大きな負荷がかかり、図1のように発熱し、これが予期せぬ大きさの位置偏差を起こす原因になります。 図2は、温度上昇による位置偏差を補正しないセミ・クローズド・ループ制御、図3はリニアエンコーダで位置測定を行うクローズド・ループ制御で加工した場合のワーク表面写真です。 加工結果に違いがあるのは明らかです。 このようにクローズド・ループ制御にすることで高精度加工を実現できます。 詳しい解説は、P...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル長さゲージ HEIDENHAIN-METRO

高精度インクリメンタル長さゲージ

■特長 ・高精度と高い繰り返し性 ・さまざまな測定圧に対応 ・各種プランジャー駆動方式を用意 ・MT 1281は測定圧の小さいタイプ(MT 1281 MW)を選択可能 ■仕様 ・DIADUR位相格子付Zerodurガラスセラミック...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アブソリュートシールドタイプリニアエンコーダLC 200シリーズ

長尺測定用アブソリュートリニアエンコーダ

■特長 ・最大測定長28mの長尺測定用 ・標準型ハウジング ・METALLURスチールスケールテープ ・LB 382と取付け互換性あり ・各種高速シリアル通信対応 ■仕様 ・精度等級: ±5μm ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルシールドタイプリニアエンコーダ LB 382

長尺測定用インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・最大測定長30mの長尺測定用 ・AURODURスチールスケールテープ ・シングルフィールド走査方式による高い位置決め精度 ・絶対番地化原点対応 ・ミラーバージョン供給可能 ■仕様 ・精度...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIF 481 Dplus

二次元直交目盛付インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・垂直Y方向の目盛トラックによる真円度測定 ・低熱膨張ガラスセラミック採用 ・PRECIMET接着テープまたはクランプで固定 ■仕様 ・信号周期: 4μm ・精度等級: X方向 ±3μm、Y方向 ±20μm ・測定長: ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ひずみセンサ ESRシリーズ

構造ヘルスモニタリング: ひずみや振動を測定し、社会・産業インフラを保…

■特長 ・高精度、高分解能 ・優れた動的応答性 ・高速で損失のないデータ伝送 ・堅牢な筐体設計 ・簡単で柔軟な取付け方法により各種アプリケーションに幅広く適応 ■仕様 ・測定アームの長さ: 200mm ・測定範囲: ±5000με ・ひずみ測定: ～0.025με ・動的振動: 最大30kHz ・インターフェース: EnDat...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

【お申込み随時受付中】製品トレーニング

各製品の操作方法やエンコーダ製品の取付け調整方法が習得できます

ンハイングループ製品のトレーニングを実施しています。 実機を用いた実践型トレーニングプログラムを通して、製品知識と正しい使用方法の習得が可能です。 ◎トレーニングコース◎ ■ 工作機械精度測定 ■ デジタル表示カウンタとPC接続 ■ リニアエンコーダ取付けおよび信号評価(PWM/PWT) ■ ETELコントローラ サーボチューニング(基礎編) お申し込みは、申込書をダウン...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル長さゲージ HEIDENHAIN-SPECTO

マルチポイント検査装置向けインクリメンタル長さゲージ

■特長 ・高い保護等級 ・耐久性に優れたボールブッシュガイド ・取付け幅わずか15mmのコンパクトサイズでマルチポイント検査ステーションに最適 ・ST 1288は測定圧の小さいタイプを選択可能 ■仕様 ・DIADUR位相格子付ガラス ・プランジャー駆動: 内蔵スプリング、空気圧 ・信号周期: 20μm ・保護等級: IP 67まで ・インター...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

2次元グリッドエンコーダ KGM 281/KGM 282

工作機械の静的測定と動的測定用エンコーダ

・評価用ソフトウェアACCOM(別売)を用いて上記試験結果を表示 ■仕様 ・精度等級: ±1μm ・分解能: 1nm (EIB 74x使用時) ・最高走査速度: 72m/min ・測定範囲: φ140mm (KGM 281)、φ230mm (KGM 282) ・インターフェース: 1Vpp...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

半導体・エレクトロニクス産業向けエンコーダソリューション

半導体製造に適した高精度位置決め技術のご紹介

東京ビッグサイトにて開催されるSEMICON Japan 2022において、半導体製造・検査装置向けの各種エンコーダソリューションをご紹介いたします。 見どころ ■Multi-DOF多自由度測定技術 LIP 6000 Dplus: 2自由度測定用高精度インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ GAP 1081: ギャップ測定用エンコーダ ■リニアエンコーダ LIC 310...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

工作機械向けエンコーダソリューション

システムコスト削減と稼働率向上を実現する製品のご紹介

ラシステムは2個の対物レンズにより高速動作中でも検査が可能 ■ロータリーテーブル用コンパレータシステムRVM 4000 取付け公差が大きく、迅速な取付け、簡単に操作が可能。非接触で摩耗のない測定が可能。 ■MULTI-DOF 多自由度測定技術 1本のスケール・走査ヘッドで2自由度を測定...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ロボティクス用エンコーダ

協働ロボットと高精度ロボットに対応するデュアルおよびセカンダリエンコー…

ネントの性能、安全性、可用性を向上させる、スマート、高精度、そしてロバストが特長の多岐にわたる製品ラインナップをご用意しています。 ■KCI 120 Dplus 　モータフィードバックと位置測定を1台のエンコーダに集約したアブソリュートデュアルエンコーダ ■KxI 1300およびKxI 100 　コンパクトロボットアクチュエータ対応の小型で軽量なアブソリュートロータリエンコーダ ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

光学走査方式組込み型角度エンコーダ ERO 2000シリーズ

ベアリングを内蔵しないインクリメンタル角度エンコーダ

■特長 ・軽量かつコンパクトな形状 ・高精度、高分解能 ・低質量、低慣性モーメント ・全周測定(360°)と部分角測定(45°)の両タイプを用意 ■仕様 ・SUPRADUR位相格子付ガラスディスク ・インターフェース: 1Vpp TKN ERO 2000 (全周) ・信...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIC 3100シリーズ

汚れに強く、取付けが簡単な高精度アブソリュートリニアエンコーダ

■特長 ・長いストロークでの絶対位置測定が可能 ・コンパクト形状 ・ロールテープによる供給 ・LIC 4100と機械的互換性あり ・各種シリアルインターフェース対応 ■仕様 ・精度等級: ±15μm ・最小分解能: ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルシールドタイプリニアエンコーダ LF 485

小型ハウジングの高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・限られた設置スペースに対応する小型ハウジング ・非常に高い繰り返し精度 ・1信号周期内の位置誤差が小さい ・鋼、鋳鉄に近い熱特性 ・測定方向に対する高い剛性 ■仕様 ・精度等級: ±3μm、±5μm ・信号周期: 4μm ・最小分解能: ～1nm ・測定長: 最長1220mm ・インターフェース: 1Vpp...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル組込み型角度エンコーダMSR 15/MSS 15

RSF社製－小型形状のインクリメンタル組込み型角度エンコーダ

■特長 ・ オンライン信号補正 ・ 表示機能を備えたステータスLEDを走査ヘッドに搭載 ・ 測定範囲全体において信号の状態を常時監視 ・ 大きな取付け公差により取付けが簡単 ・ 優れた耐環境性 ・ インターフェース: 1Vpp、TTL (200倍まで) ■仕様 TTR MSR...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

角度エンコーダモジュール MRP 8000シリーズ

中空シャフトφ100mmの貫通型大口径シャフト

■特長 ・角度エンコーダと高精度ベアリングを一体化させたモジュール製品 ・フラット形状 ・高い繰り返し精度 ・優れた熱安定性 ・測定方式はアブソリュートまたはインクリメンタルを用意 ■仕様 ・システム精度: ±1" もしくは ±2" ・アキシャル許容軸荷重: 300N ・中空シャフト径: φ100mm MR...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ MC 15シリーズ

RSF社製－取付けが容易なアブソリュートリニアエンコーダ

高速制御 ・MS 15と同じ寸法 ■仕様 ・スケール本体: スチールスケールテープ* ・最小分解能: ～0.05μm ・精度等級: ±15μm ・最高走査速度: 10m/s ・測定長: 最長6140ｍｍ ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川、BiSS C *MC 15 MKは接着テープにより直接貼付け、MC 15 MPはクランプ付アル...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

シールドタイプリニアエンコーダ LC 116/LC 416

耐環境性をさらに向上させたLCシリーズ

負担を軽減 ・標準型ハウジングLC 116と小型ハウジングLC 416 ■仕様 ・精度等級: ±3μm、±5μm ・最高走査速度: 180m/min ・最小分解能: ～1nm ・測定長: 最長4240mm (LC 116/LC 196F/LC 196M) ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

高精度ワーク計測用タッチプローブ TS 760

非常に高いプローブ精度かつ繰り返し精度を実現したタッチプローブ

・無線/赤外線のデュアル通信 ・インテリジェント電力管理機能により消費電流を最小化 ■仕様 ・プローブ精度(方向特性): ≦±1μm ・繰り返し再現性: 2σ≦±0.25μm ・測定力: 軸方向 約1.5 N、半径方向 約0.2 N ・信号伝送: 無線もしくは赤外線 ・通信方向: 360°全方位通信 ・保護等級: IP 68...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ワーク計測用タッチプローブ TS 260

ケーブル通信式の高精度タッチプローブ

状 ・接点摩耗のない光学センサを採用 ・ケーブルによる信号伝送 ・汎用インターフェース搭載 ・手動による工具交換の工作機械向け ■仕様 ・プローブ精度: ≦±5μm ・繰り返し測定精度: 2σ≦1μm ・信号伝送: ケーブル(軸方向または半径方向) ・供給電圧: DC 15V～30V / ≦100mA(負荷なし) ・保護等級: IP 68...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

工具測長器 TT 460

ワイヤレス通信式の工具測長器

採用 ・無線と赤外線のデュアル信号通信方式 ・TS 460と同じ送受信ユニットSEを共用可能 ・簡単に検出ディスクの交換が可能 ■仕様 ・プローブ精度: ≦±15μm ・繰り返し測定精度: 2σ≦1μm ・信号伝送: 無線もしくは赤外線 ・検出ディスク径: φ25mm、φ40mm ・保護等級: IP 68...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

計測用データ処理ユニット　GAGE-CHEK 2000

信頼性のある一次元測定用データ処理ユニット

レキシブルな設定が可能なユーザーインターフェース ・実際の操作状況に応じて機能や操作要素を表示 ・軸単位で長さと角度を表示 ・手動、連続、もしくはタッチプローブをトリガーにしたデータ転送 ・測定値出力のデータフォーマット設定が可能 ■仕様 ・コンパクトな一体型アルミ筐体 ・部品構成の最適化によるエンベデットデザイン ・防水対応(IP65)の7インチマルチタッチスクリーン...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

超高精度オープンタイプリニアエンコーダ LIP 200シリーズ

最小分解能31.25pmの超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

ズ ・大きな取付け公差により容易な取付け ・各種インターフェース対応 ■仕様 ・信号周期: 0.512μm ・精度等級: ±1μm、±3μm ・最小分解能: 31.25pm ・測定長: 最長3040mm ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、1Vpp...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ワーク計測用タッチプローブ TS 150

研削盤向けタッチプローブ

・UTIインターフェースによりあらゆる汎用制御装置と接続 ・限られたスペースの加工エリア用 ■仕様 ・プローブ精度(方向特性): ≦±5μm ・繰り返し再現性: 2σ≦1μm ・測定力: 軸方向約7N、半径方向約1N ・供給電圧: UTI 150インターフェース経由 ・保護等級: IP 68...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

マニュアル操作式工作機械用リニアエンコーダ LS 300シリーズ

マニュアル操作の工作機械など、簡単な位置決めに適したインクリメンタルリ…

接続ケーブル ・旧型式(LS 378/LS 388)と取付け互換性あり ■仕様 ・精度等級: ±5μm ・信号周期: 20μm ・原点: 中央に原点1個、または絶対番地化原点 ・測定長: 70mm～1240mm ・インターフェース: 1Vpp、TTL...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル組込み型角度エンコーダ MSR 45

RSF社製－スチールテープタイプのインクリメンタル組込み型角度エンコー…

■特長 ・スケールテープスケール ・各種取付け径に対応 ・全周および部分角測定タイプあり ・取付けが簡単 ■仕様 ・内径: φ150mm～φ1200mm ・目盛精度: ±30μm/m ・目盛線本数: 2400～18000 ・目盛間隔: 200μm ・イン...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アブソリュート組込み型角度エンコーダ WMRA/WMKA

AMO社製－インダクティブ走査方式アブソリュート組込み型角度エンコーダ…

・優れた耐環境性 ・目盛間隔: 1000μm ・大口径貫通型中空シャフト ・低慣性モーメント ■仕様 ・内径: φ81mm～φ652mm ・目盛精度: ～±10μm/m ・測定分解能: ～26ビット ・保護等級: IP 67 ・インターフェース: EnDat、SSI...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ワーク計測用タッチプローブ TS 750

研削盤向け高精度タッチプローブ

■特長 ・外径25mmのコンパクトサイズ ・高精度圧力センサ搭載 ・数百万回の測定サイクルにも耐える長寿命設計 ・低接触での測定が可能なため、ワークへの影響が少ない ・切削加工の状況をインプロセスで検査・監視可能 ■仕様 ・プローブ精度(方向特性): ≦±1μm ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社