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半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定!
半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 ...半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 弊社で独自に入手したSiウェハの測定をご紹介します。 測定したのは下記の5種類。 それぞれp型/n型、ドープ量などが違うものです。 1.ケイ素<0.02Ωcm/P,Low,100 2.ケイ素>1000Ωcm/P,High,111 3....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ベテル ハドソン研究所
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