【測定事例】<半導体材料>　Siウェハ　【TA】

半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定！

半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 ...半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 弊社で独自に入手したSiウェハの測定をご紹介します。 測定したのは下記の5種類。 それぞれp型／n型、ドープ量などが違うものです。 　１．ケイ素<0.02Ωcm／P,Low,100 　２．ケイ素>1000Ωcm／P,High,111 　３．...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所