熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ/TM3

フィラー、セラミックス、絶縁薄膜、半導体薄膜等、薄膜・微小領域の熱伝導…

サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。 従来の熱物性測定装置では難しいとされていましたミクロンオーダーでの熱物性値分布も測定出来ます。 非接触かつ高分解能で熱物性の測定を可能にした世界初...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定分野】　微小サイズ　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。微小サイズ粒子も自在に測定可能

【主な特長】 ○薄膜と微小領域の熱物性測定に ○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱 ○従来困難だった微小サイズ粒子も自在に測定可能 【その他の特長】 ○ＳｉＣ複合材料の評価 →粒子サイズは約１００μｍ、粒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定分野】　薄膜　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。構造部材用耐熱コーティングの評価が可能

【主な特長】 ○薄膜と微小領域の熱物性測定に ○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱 ○構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能 【その他の特長】 ○超電導限流器用薄膜の熱浸透率評価（産業技術総合研究所 計測...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定事例】　半導体レーザ 電極部の熱伝導性評価　【TM3】

半導体レーザ 電極部を評価！！

半導体 電極部の熱物性評価ができます。 事例では、Au電極部の下にAl2O3の絶縁膜が存在する部分と、そうではない部分がありますが、サーマルマイクロスコープTM3で評価することで、熱浸透率の違いが観察されています。こ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定分野】　熱物性分布　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。ＳｉＣ多結晶の熱伝導率分布を測定可能

【主な特長】 ○薄膜と微小領域の熱物性測定に ○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱 ○ＳｉＣ多結晶（セラミックス）の熱伝導率分布を測定可能 【その他の特長】 ○ＳｉＣ多結晶の熱伝導率分布（産総研 先進製造プ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所