真空バルブ | イプロスものづくり

PR溶剤の有効成分の回収！運転やバルブ操作は、空気圧や窒素圧による遠隔操作…

本装置は、廃溶剤液から水分や不純物を除去し、溶剤の有効成分の回収を行う装置です。【特長】 ■溶剤のリサイクル、廃液処理のコスト削減 ■空気圧・窒素ガスによる遠隔操作方式の為、高い安全性確保 ■連続減圧蒸留方式で蒸留ユニットは防爆仕様 ■設置・移動が簡単な省スペース設計 ■簡単操作、自動運転 ■安全に留意した自動停止機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業：プリテクノジャパン株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持った遮断弁です。シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、バルブ取り付け作業が容易。スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの巻き上げを防止します。メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力コントロールをします。バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、低コスト化を考慮したL型真空バルブです。極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。ベローズシール構造により高いリーク性能を持っておりま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。＃副生成物対策内部・外部ヒーター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるためコールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。＃副生成物対策また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長で…

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部の両方から加熱することにより、高い均熱性能を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに対応可能。半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

真空フランジボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な真空フランジボールバルブです。手動弁と自動弁をご用意。ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。＃副生成物対策【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGのねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、反応室を汚染しにくい構造です。シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現しました。【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性の…

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？除害装置前段での副生成物対策・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧ボールバルブ　#手動ボールバルブ　#アイソレーションバルブ　#Ｌ型真空バルブ

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』

内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コ…

『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用のデジタル温度コントローラーです。当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルのヒーターを同時に加熱することが可能。制御温度範囲は室温～Max180℃で、入力電源はAC100V/200V共用となっています。【主な仕様（抜粋）】 ■制御温度範囲：室温～Max180℃ ■適用温度センサー：K...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー