真空炉 | イプロスものづくり

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイベック

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース最高使用温度2000℃！還元雰囲…

◉ 卓上サイズ省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

古河電気工業（株）でコーポレートの生産技術部門に26年間所属し、生産技術開発センター長を５年勤めました。主に光ファイバの開発・量産ラインへの装置導入の業務を行ない、現在も導入した装置が現役で活躍しています。私が担当した1980年後半から通信バブル崩壊するまでは毎年線引速度が高速化しプリフォーム径も大型化してゆく時代でした。私が担当した当時は、購入した線引炉の水漏れがたびたび起きて、自社で線引炉...

メーカー・取り扱い企業：プロセスD&Tラボ千葉

高温工業炉　タングステン・モリブデン部品

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

外熱型真空光輝焼戻炉・焼鈍炉　TOUVAC

金属レトルト外熱方式により、シール性・炉内雰囲気の再現性等アップ！

TOUVAC （ TOUnetsu VACuum furnace ）工業炉のトウネツが提案する、金属レトルト外熱方式を採用した真空炉です。各種マテリアルの光輝熱処理に！...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トウネツ東海事業所

MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

■Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ■3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ■使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ■試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

熱処理加工技術『真空熱処理』

真空中で熱処理を行うため、光輝仕上がり可能です。

【その他】 ■設備 TV-1　横型真空炉 　Max 1300℃　W610×H460×L910 TV-2　横型真空炉 　Max 1300℃　W910×H790×L2000 TV-3　2室型真空炉 　Max 1300℃　W800×...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東都冶金本社工場

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しております。ご用命の際はお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、バブルレスで優れた品質を実現します。【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイド...

メーカー・取り扱い企業：中外炉工業株式会社

近赤外線塗装乾燥炉「ハロゲンランプオーダーシステム」

近赤外線ハロゲンランプを使用し高効率な乾燥機を設計！内側から乾燥や効果…

近赤外線ハロゲンランプは、対象物を内側から乾燥や硬化を促進させるので未乾燥・未硬化などの不具合発生を低減します。また電源ＯＮで瞬時に要求温度に達しますので無駄なく短時間で処理を終えることが可能となります。よって省エネルギーによるコスト削減や環境エコにも繋がります。目的、用途、被乾燥物に合わせた乾燥・加熱性能を提供し、様々な材質、目的に合わせ設計いたします。 ■特徴・レ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーコー埼玉事業所ＩＰＳ営業課

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...６インチウェハ対応の石英管の横型...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

タングステン・モリブデンの加工品

タングステン・モリブデン・タンタル等の高温向けレアメタルの加工品

真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社新栄特殊金属

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

静止空気より優れた断熱性能！高性能断熱材のメリットを解説

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

当社では、静止空気以上の断熱性能を誇る、『シルサーム断熱材』を原料から最終製品まで、一貫して製造しております。『シルサーム断熱材』の特徴 ■ ヒュームドシリカを原料とした断熱材 ■ ナノ粒子による微細な多孔質構造体 ■ 最高1600℃用途で使用可能 ■ 従来の断熱材より5~10倍の断熱性能『シルサーム』を導入するメリット ■ 断熱改善によりCO2削減 ■ 省エネ性向上に...

メーカー・取り扱い企業：シルサーム・ジャパン株式会社

カワソーテクセル株式会社　事業紹介

熱い想いでアイデアを練る！更なる未来へとつないで、新たな伝統を刻んでい…

【主要生産設備】 ■スプレードライヤー ■大型ラバープレス ■真空炉 ■マシニングセンタ(パレットチェンジャ付) ■ガス雰囲気炉 ■TIG溶接機　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：カワソーテクセル株式会社

熱処理加工技術『HIP処理』

20年以上の実績とノウハウがある真空熱処理サービスです。

「HIP処理（熱間等方向加圧）」はアルゴンガスなどを圧力媒体とし、 1000kgf/cm2以上の圧力と1000℃以上の温度との相乗効果を利用して加圧処理する、先端技術です。高温と高い等方向加圧を利用することで高付加価値製品を実現いたします。近年では、金属積層造形品の内部欠陥を除去する方法としても注目されています。【HIP営業品目】 ■鋳造欠陥、焼結欠陥の除去 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東都冶金本社工場

豊栄工業株式会社会社案内

医薬職、食品、製菓の自動包装機、自動化機械、環境機器など省力化機械の専…

豊栄工業は「モノづくり」を原点に、環境機器、自動化・省力化機械の製造を通じて豊かな未来づくりに貢献しています。システム構築から設計・製作まで一貫したトータル体制で、お客様のニーズにきめ細かく対応いたします。【事業内容】 ■産業機械の設計開発（自動包装機・自動省力化機械・環境機械）・設計 ■機能部品アッセンフリー ■産業機械・製造装置の保守、メンテナンス ■産業機械...

メーカー・取り扱い企業：豊栄工業株式会社

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

◉Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ◉3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ◉使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ◉試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

熱処理炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

焼鈍炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

電気炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

大型高真空蒸着装置

精密品から海上輸送の大型構造物まで、非鉄金属加工のスペシャリスト！

今日、あらゆる産業の分野で、急速なイノベーションが進んでいます。より「軽く」、より「強く」、そして、より「ロングライフ」に…企業のニーズは、ますます多様化し、個性化しています。赤星工業は、創業以来、常に「顧客志向」、「品質本位」をモットーに価値ある非鉄金属加工品を提供し、多くの皆様のご要望とご期待に応えてまいりました。そして、今、急激に変化する時代の中で、いかなる企業のニーズにも迅速に対応できるハ...

メーカー・取り扱い企業：赤星工業株式会社