研究 | イプロスものづくり

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メーカー・取扱い企業

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
DDS機能を搭載した任意波形発生器『AWG』

PRQuantum Computingに好適！信号生成アプリケーションに有…

『AWG』は、発生する信号を、直接qubitに印可または、AOM、AOD、EOMに印可してレーザ制御を行うことにより、qubit内の量子操作とqubitの状態の読み出し処理ができる任意波形発生器です。 DDS(Direct Digital Synthesis)機能を備えており、デバイスを簡単なコマンドで高速に制御できるため、高速かつ複雑な各種量子操作が可能。また、qubi...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エレクトロニカIMT事業部
研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1300×L1590×H1215ｍｍ・省スペース研究用・材料開発やテストに最適・PCB・LCDのエッチングが可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム
研究開発用小型実験装置 Mini-Lab

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つリソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるようご提案。全工程の小型装置を取り扱っており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ
スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。【スモールフットプリント・省スペース】・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 5...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

ナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。【ラインナップ】・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および研究開発向けに提供します。主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。また、小口径基板に適した縦型電気...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社
小型エッチングマシン『YCE-85V』

スプレー上下にそれぞれ圧力計を搭載した小型エッチングマシン！

』は、液の投入がしやすいようにサイドタンクを搭載した小型エッチングマシンです。タンクには液量の確認ができる窓がついています。主に、塩化第二鉄液エッチングや塩化第二銅液エッチングの研究開発等の用途に適しています。【85Vシリーズの特長】 ■水平揺動ノズルパイプ ■液の投入がしやすいサイドタンク ■タンクの液量が確認できる窓 ■スプレー上下にそれぞれ圧力計 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山縣機械ＦＴＰ事業部
【加工事例】エッチングの技術を用いた蒸着マスクの作成

フラット性や磁性や耐熱性の要求に対応！多品種の小ロット対応の案件をエッ…

蒸着マスクの業種作成についてご相談をいただきましたので、ご紹介いたします。研究機関や試作検討に初めてトライするため、金属マスクの特性等に関しても試行錯誤をしている案件があるとのことでした。技術的には、バリなく、低コストで対応してほしいとご依頼をいただきました。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーワン
多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又はMS...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ
ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットで…

AGRA計画（大型低温重力波望遠鏡計画）は、ブラックホールの解明などをめざし、人類初となる「重力波の直接観測」の国際プロジェクトです。ノーベル賞を受賞した梶田隆章教授が所長を務める東京大学宇宙線研究所をはじめ、国立天文台や高エネルギー加速器研究機構が主導し、国内外の数多くの研究機関の研究者が参加する一大プロジェクトです。【プロジェクトへの部品提供】 KAGRA建設プロジェクトでは、真...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＣ田中
薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および研究開発向けの設備を提供します。「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを自動処理する装置です。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社
プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

0〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。また、搬送ユニットの後付けが可能な為、実験・研究施設等に最適です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー
スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
ドライエッチング装置・XeF2エッチング装置

XeF2エッチング装置

●ガスを断続的に流し、エッチングすることによりエッチングのスピードおよびガスの使用量の制御が容易。 ●プラズマを使用しないため、電界による素子へのダメージ（電子またはイオン衝撃）がない。 ●研究開発用途向けであるため、卓上型で非常にコンパクトな設計。 ●専用機であるため低価格。...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
イオンビームミリング・エッチング装置-伯東/エヌエス

Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…

イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能です。【特徴】（１）難エッチング材...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社
光化合物半導体　プラズマ加工装置

長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以…

「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・成膜装置です。研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱うように設計されています。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【用　　　...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

【実用例】・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化・各種塗工の濡れ性UP　など・・・　【大学・研究機関実用例】・PDMSとガラスの貼り合せ　・MEMSの接着強化　・歯科医療・医療用チューブの洗浄　　　・細胞培養の前処理　など・・・【粉体の表面改質】・カーボンナノチューブ・炭素...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

TCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いるマンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！１週間～レンタル始めました～♪…

Siやカーボン膜の受託エッチング！その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途にお使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！初回条件出しやデモ処理は無償対応。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ　厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】首振揺動【装置サイズ】W1530×L2830×H1860ｍｍ・材料開発やテストに最適・研究から少量生産に対応・PCB・LCDのエッチングが可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム
小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

ーナイフ→取出し【基板サイズ】Min.W50×L50ｍｍ　厚み0.03〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1445×L2010×H1230ｍｍ・材料開発やテストに最適・研究から少量生産に対応・PCB・LCDのエッチングが可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム
エッチングキット『ロットくん』

プラスチック成形品の製造ロット管理に新方式！

『ロットくん』は、エッチング方式に初めて着目した当社が、長年の研究と使用実績にもとづき、必要品一式をより使い易いキットとしてまとめたものです。耐油、耐酸にすぐれた特殊材質のゴム印と連結式のホルダーを使用して簡単に金型への押印、マーキングが可能。その...

メーカー・取り扱い企業：山陽セルプラ工業株式会社
ナノインプリント装置「TEXシリーズ」＊デモ相談可能

従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやす…

〔特徴〕・マスターモールド、ソフトモールド、UVレジスト、転写装置全てをシステム化・解像度１００nm ・スループット１～２分以内・ハイアスペクト（１：５）可能・残膜１５nm以下 ...【特徴】 ○真空・加圧の無いシンプルな装置構成 ○耐久性に優れた独自素材のモールドを使用 ○フォトニックレベル(φ250nm)まで可能 ○120枚／時間の高速処理を実現 ○ドライエッチン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル
プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社
研究開発用小型エッチング装置　ＨＰＥ４０

狭いスペースＯＫ、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小…

水洗２→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ　厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1420×L1950×H1645ｍｍ・省スペース研究用・材料開発やテストに最適・PCB・LCDのエッチングが可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム
成膜装置『Corial 200 Series』

用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成…

0 Series』をご紹介いたします。共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる研究開発向け装置。ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mmです。【特長】 ■共通プラットフォームを用いる ■RIE,ICP,ICP+RIE,ICP-CVD又はPEC...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置

「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有し…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『ドライエッチング装置』のオーダーメイド製作実績をご紹介します。「研究開発用ICPエッチング装置」や「ICPプラズマエッチング装置」「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有。デモ機にてサンプル処理を実施しております。ご用命の...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットで…

AGRA計画（大型低温重力波望遠鏡計画）は、ブラックホールの解明などをめざし、人類初となる「重力波の直接観測」の国際プロジェクトです。ノーベル賞を受賞した梶田隆章教授が所長を務める東京大学宇宙線研究所をはじめ、国立天文台や高エネルギー加速器研究機構が主導し、国内外の数多くの研究機関の研究者が参加する一大プロジェクトです。【プロジェクトへの部品提供】 KAGRA建設プロジェクトでは、真...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＣ田中