無料ウェビナー 超純水・純水の最新技術と超純水の使い方のポイント

PR5月29日（水）無料ウェビナー開催！最新技術と使い方について詳しくお伝…

各種試験、研究、各種分析において再現性のある精度の高い結果を得るためには、結果に影響を与える要素が取り除かれていて、且つ一定の水質を保っている純水・超純水を用いることが必要です。 本ウェビナーでは、純水・超純水の精製方法による水質の違いと結果への影響を示し、目的に応じた最適な水について紹介します。 また、水質を保つために必要な超純水の使い方のポイントにいたるまで、純水・超純水を利用する方が...

メーカー・取り扱い企業： メルク株式会社ライフサイエンス（シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社）

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【加工事例】電気化学測定用電極の機械研磨

株式会社マルトーの金電極加工事例をご紹介！

　 ・二次研磨：ポリシングクロス（中質）多結晶ダイヤモンドスラリー0.125μm ・仕上げ研磨：ポリシングクロス（軟質）アルミナパウダー（バイカロックス） 　　　　　　　0.05μm（潤滑液：純水） 　＜主な使用機器＞ 　・低周速ドクターラップ　ML-180SL 　・強制駆動アーム　MKL-300 　・φ6.0mm用電極研磨治具（ドクターラップ用） ※詳しくは外部リンクペー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-8654-H

【デモ機貸し出し可能！】ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-865…

ウエハー表面を非接触で純水の高圧ジェットにより洗浄するものです。 【特徴】 ◯パーテイクルの除去 ◯粒子状汚染除去 ◯ウエハー表面のバリの除去...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ポストＣＭＰ／スクラバー用ＰＶＡブラシ

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

ボ付ブラシ，パックブラシ，ペンタイプブラシを用意しております。 ＫＭ−ＰＶＡブラシは純度の高い日本製原材料を使用した成形品です。切削はしておりません。 成形後、酸・アルカリを使った特殊洗浄・純水リンスを行い最高レベルのクリーン度を実現しております。 各種ポリプロピレンホルダーは射出成形後、脱脂，酸・アルカリ洗浄を行い 樹脂からの溶出イオンを最小に抑えております。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： ＫＭジャパン株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

２サイズ兼用可） ・洗浄チャンバー数：1 ・スクラブ処理：高圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

材質：ダイシング用リングフレーム ・サイズ：標準6インチwafer用（各種サイズに対応） ・処理ステーション数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

SiC・GaN基板研磨加工サービス『CARE-TEC(R)』

SiC・GaN基板をCARE法で加工します！

『CARE-TEC(R)』は、究極の平坦面とダメージフリー化により、 デバイス性能を飛躍的に向上できる技術です。 加工液は環境に配慮した純水のみを使用しております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■原子レベルの平坦性が得られる ■加工ダメージ（内部の潜傷）を除去可能 ■リーク電流を低減できる ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦エンジニアリング株式会社

電解研磨

電解研磨から生まれる鏡のような表面！質の高い電解研磨でIT技術を支えて…

皮膜を形成。 当社では、大型電解槽1号機と2号機があり、最大で長さ8,000mm×幅4,500mm× 深さ4,500mmの大型槽です。 【保有設備】 ■大型電解槽1号機/2号機 ■純水製造プラント(日本オルガノ製) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メルコジャパン株式会社 丸森第一工場

【提供技術】電解研磨

電解研磨専門工場を複数設置！各種洗浄設備、クリーン化施設と共に多様なニ…

【参考】 ■大型温純水ジェット洗浄 ■大型完成品揚圧ブースにて保管可能（6500×6000×2400） ■小型品クラス10000クリーンベンチ保管 ■社内にて電解治具を製作 ■油分測定器、浸漬槽（3600×500...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社酒井ステンレス 京浜島第一工場

後工程関連取扱い製品カタログ

検査装置をはじめ、接合材料やウエハー工程装置などを多数掲載！

【その他の掲載製品（抜粋）】 ■検査装置 ・ウエハー・チップ外観検査装置 ・小型硝子基板外観検査装置 ・電子部品6面外観検査装置 ■洗浄装置 ・純水・準水系インライン洗浄装置 ・フラックス洗浄装置 ・炭化水素・有機溶剤真空洗浄機 ・PC基板クリーナー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

4, 5, 6, 8インチ（2サイズ兼用可） ・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送：ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室