【検査工数大幅カット】『検査表システム』

PRCADデータ（DXF/DWG）PDFデータから検査成績表を自動作成！ …

【こんなことにお困りではありませんか？】 ■検査成績表の作成に時間がかかる ■データの取り込みが面倒 ■検査成績表の形式を完成後に指定のファイルに変換していて不便　など そのお困りごと、アンドールの『検査表システム』が解決します！ 『検査表システム』は、DXF/DWG/PDFデータ(*1)を変換なしで読み込み、図形を囲んで選ぶだけで、寸法線属性を自動抽出し、検査成績表を自動で作成...

メーカー・取り扱い企業： アンドール株式会社 ITプラットフォーム営業部　

パルスジェット集塵機向けバルブ『PVシリーズ』＜PV12が追加＞

PRフィルターの払落し効果向上とメンテナンス頻度を軽減。既設配管の再利用O…

『PVシリーズ』は、エアの切り替え部に「スプール」を採用し、 バルブ自体の長寿命化とフィルターの払落し効果向上を実現する パルスジェット式集塵機向けのバルブです。 「4-WAYパイロット弁」採用により安定した動作を実現し、 高速応答による効率的なパルスエアーで高い払落し効果を実現。 純正ベースの他、専用アダプタにて既存の配管をそのまま利用できます。 今回、大流量ダイヤフラムバル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エアープレシジョン

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

自転式スピンドライヤー

自転式スピンドライヤー

■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。 ■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。 ■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

半導体製造プロセスガス向けに開発。 複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！ 高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。 フィルターエレメントは、2種類。 ・SUS316L材金属焼結タイプ ・PTFE膜タイプ をガス種に応じて選定いただけます。 メーカーカタログ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー 　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 　・微細パターンへ対応可能 　・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...IPA蒸気を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…

独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm／12”対応。 サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

米国mott社製インラインガスフィルターFXPシリーズ

ファイバーエレメントを使用した低価格インラインフィルター

不活性ガス向けの低価格フィルターであり、テフロンエレメント製フィルターからの置換にも最適。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使…

応します。 高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を 10msec まで短縮できます。 水銀不使用！従来のランプからの置換えをご検討の方は、お問い合わせください。 ■使用用途 ・半導体フォトリソグラフィー ・３Dプリンティング ・UV硬化...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

小型・軽量・小フットプリント装置

■主な特長 ・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載 ・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる ・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に 大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少 など、総合的な製造プロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社