組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

給排水循環装置『エンバイロ』試料研磨機用

試料研磨機の給排水設備を不要にする循環装置です。環境対応装置です。

＜特長＞ ■給排水設備が無い場所でも研磨機を使用出来ます。 ■研磨排水を出さないので環境に優しい装置です。 ■バルブ開閉のみの制御で研磨機との電気的接続が必要ありません。 ■コンパクトで作業台の下に入る大きさです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ハルツォク・ジャパン株式会社

精密切断砥石専用 切削油『アブクール』

精密切断に必要な要素を特化させた砥石切断専用の水溶性切削油です。金属の…

の腐食、塗装剥がれの大きな要因となり、切断機の寿命を短くしてしまうものです。アブクールは金属イオンの影響を受けい難い性質を持っており、クーラントの劣化を抑え長く使用出来ます。メンテナンスの回数削減と装置寿命を延ばすことも可能であり、高い費用対効果が期待出来きます。 【特長】 〇高い冷却性 〇高い洗浄力 〇優れた防錆性と防腐性 〇超低臭タイプ 〇安定性が高く長寿命...

メーカー・取り扱い企業： ハルツォク・ジャパン株式会社