FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

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当社では、長年に渡り社会インフラ市場向けの大型の監視制御盤、電力向け受配電盤、カスタム制御卓、各種表示装置、小型の電気・電子機器等の受託製造を中心に事業を行ってきましたが、 最近では、長年培ったノウハウを活かし、医療機器に使われる部品や機器、医療向けの検査装置などの設計・製造なども手掛けています。 また開発段階での技術支援や、試作の対応、１００社を超える協力会社や商社のネットワークを活かし...

メーカー・取り扱い企業： 高和電氣工業株式会社

【課題解決事例集】半導体製造装置

課題解決のヒントとなる技術情報を多数紹介！特殊対応事例なども掲載

この小冊子では、お客さまの課題解決のヒントとなる技術情報を 多数紹介しています。 装置・製造工程・環境から見つかる課題解決事例をご紹介。 その他、真空・高温・薬品の付着など特殊環境への対応を装置ごとに 解説しており、様々な視点から課題解決をお手伝いいたします。 【掲載内...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社